[发明专利]一种高频声光器及制备方法

权利要求书

1.一种高频声光器，其特征在于，包含：

声光介质；

底电极，包含过渡层和导电层，过渡层设置于声光介质上，厚度为50～200纳米，导电层设置于过渡层上，厚度为100～500纳米；

氧化锌薄膜层，镀制在导电层上作为换能器，厚度为500～1000纳米；

表电极，镀制在氧化锌薄膜层上，厚度为100～500纳米；

信号线，分别连接底电极和表电极上，用于连接匹配网络。

2.根据权利要求1所述的高频声光器，其特征在于，所述过渡层采用下述材料中的一种制成：铬、镍、锡、TiW。

3.根据权利要求1所述的高频声光器，其特征在于，所述导电层采用下述材料中的一种制成：金、银、铝。

4.根据权利要求1所述的高频声光器，其特征在于，所述氧化锌薄膜层为金属掺杂的ZnO薄膜，掺杂的金属元素包含下述金属中的一种或者多种铁、钒、铝、锂金属，掺杂的金属元素占氧化锌的原子百分比大于0％，小于3％。

5.根据权利 要求3所述的高频声光器，其特征在于，所述信号线为金丝或铝丝，通过导电银胶粘接在底电极和表电极上。

6.一种高频声光器的制备方法，其特征在于，包含如下步骤：

S1、对声光介质表面进行清洁处理；

S2、在声光介质上溅射过渡层，在过渡层上溅射导电层，作为底电极，过渡层厚度为50～200纳米，导电层厚度为100～500纳米；

S3、利用高温胶带将底电极表面部分遮挡；

S4、然后在底电极上溅射氧化锌薄膜层，氧化锌薄膜层厚度为500～1000纳米；

S5、在氧化锌薄膜层上溅射表电极，表电极厚度为100～500纳米；

S6、将底电极上粘贴的高温胶带撕下，得到底电极裸漏部分，然后在底电极裸漏部分和表电极上分别连接信号线。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述过渡层采用下述材料中的一种制成：铬、镍、锡、TiW。

8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述导电层采用下述材料中的一种制成：金、银、铝。

9.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述氧化锌薄膜层为金属掺杂的ZnO薄膜，掺杂的金属元素包含下述金属中的一种或者多种铁、钒、铝、锂金属，掺杂的金属元素占氧化锌的原子百分比大于0％，小于3％。

10.根据权利 要求6所述的制备方法，其特征在于，所述信号线为金丝或铝丝，通过导电银胶粘接在底电极和表电极上。