[发明专利]声表面波滤波器及其制造方法在审
| 申请号： | 202011327544.0 | 申请日： | 2020-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN112398457A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 李红浪;许欣;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H3/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 熊风 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面波 滤波器 及其 制造 方法 | ||
1.一种声表面波滤波器，包括压电晶圆衬底层以及设置在所述压电晶圆衬底层上的金属电极层，其特征在于，
在所述声表面波滤波器的金属电极层中设置有作为匹配元器件的匹配电感，
所述匹配电感与设置在所述声表面波滤波器的金属电极层中的谐振器单元臂并联或串联连接。
2.如权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，
所述匹配电感是平面绕线电感。
3.如权利要求2所述的声表面波滤波器，其特征在于，
所述匹配电感为矩形结构、圆形结构、六边形结构和八边形结构中的任一种。
4.如权利要求2所述的声表面波滤波器，其特征在于，
所述匹配电感的线条宽度、间隙、匝数可调。
5.如权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，
所述匹配电感的材料与所述声表面波滤波器的金属电极层的材料相一致。
6.如权利要求5所述的声表面波滤波器，其特征在于，
所述匹配电感的材料为铝、铜、金、铝铜合金、铂、钼、铝钛合金。
7.如权利要求5所述的声表面波滤波器，其特征在于，
所述匹配电感的膜厚与所述声表面波滤波器的金属电极层的膜厚相一致。
8.一种声表面波滤波器的制造方法，该声表面波滤波器包括压电晶圆衬底层以及设置在所述压电晶圆衬底层上的金属电极层，其特征在于，
在所述声表面波滤波器的金属电极层中设置作为匹配元器件的匹配电感，
形成为使所述匹配电感与设置在所述声表面波滤波器的金属电极层中的谐振器单元臂并联或串联连接。
9.如权利要求8所述的声表面波滤波器的制造方法，其特征在于，
所述匹配电感的线条宽度、间隙、匝数可调。
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