[发明专利]一种气体浓度测量用取样装置

说明书

本发明公开了一种气体浓度测量用取样装置，包括压力容器、氮气瓶、氢气瓶、氢气测量系统、色谱仪和去离子水箱，所述压力容器一侧与氮气瓶连通，所述压力容器一侧还与氢气瓶连通；所述压力容器内部设置有四个取样探头，所述取样探头包括取样管、接头、取样头和防喷淋罩，所述防喷淋罩套接在取样管表面，所述取样管底端与接头顶端固定连接。本发明通过氢气测量系统检测出取样气体中的氢气的浓度参数，同时通过色谱仪检测出取样气体中的氢气浓度，根据氢气测量系统和色谱仪中四对氢气浓度对比结果，从而得出取样装置的精度。

技术领域

本发明属于气体浓度测量技术领域，特别涉及一种气体浓度测量用取样装置。

背景技术

随着电子技术的发展，对电子器件的封装过程要求越来越严格，当封装过程中存在“氢效应”时，会改变器件的使用性能，导致器件不正常的工作，使器件失效，最终大大缩短器件的使用寿命。为了能解决器件的氢效应问题，需要对器件的抗“氢中毒”能力进行快速评价。

目前，主要通过设置气体浓度检测传感器进行气体浓度检测，因高温高压环境，容易使气体浓度检测传感器造成损坏，而且当气体浓度检测传感器得多次检测结果对比误差较小时，难以判断是气体浓度本身发生了变化还是气体浓度检测传感器出现了故障，无法获得准确的气体浓度检测结果。

因此，发明一种气体浓度测量用取样装置来解决上述问题很有必要。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种气体浓度测量用取样装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种气体浓度测量用取样装置，包括压力容器、氮气瓶、氢气瓶、氢气测量系统、色谱仪和去离子水箱，所述压力容器一侧通过设置有电磁阀V003和减压阀V002的管道与氮气瓶连通，所述压力容器一侧还设置有电磁阀V005和减压阀V004的管道与氢气瓶连通；

所述压力容器内部设置有四个取样探头，所述取样探头包括取样管、接头、取样头和防喷淋罩，所述防喷淋罩套接在取样管表面，所述取样管底端与接头顶端固定连接，所述接头底部与取样头顶部固定连接；

四个所述取样管顶端分别与四个取样管线一端固定连接，所述取样管线另一端贯穿所述压力容器，且与氢气测量系统输入端连通，所述氢气测量系统输出端与压力容器连通，所述取样管线另一端还与色谱仪连通；

所述去离子水箱输出端通过电磁阀V006、真空泵P003和电磁阀V007的管道与压力容器底端连通，所述真空泵P003位于电磁阀V006和电磁阀V007之间；

所述压力容器一侧还通过电磁阀V013与气溶胶发生器连通。

进一步的，四个所述取样管线分别通过电磁阀V014A的管路、电磁阀V014B的管路、电磁阀V014C的管路和电磁阀V014D的管路与氢气测量系统连通；

四个所述取样管线还分别通过电磁阀V015A的管路、电磁阀V015B的管路、电磁阀V015C的管路和电磁阀V015D的管路与色谱仪连通。

进一步的，所述电磁阀V014A的管路、电磁阀V014B的管路、电磁阀V014C的管路、电磁阀V014D的管路、电磁阀V015A的管路、电磁阀V015B的管路、电磁阀V015C的管路和电磁阀V015D的管路表面均包裹有保温层；

四个所述取样管线的分别与设置有热电偶TF301A和压力变送器PT301A的管路、热电偶TF301B和压力变送器PT301B的管路、热电偶TF301C和压力变送器PT301C的管路以及热电偶TF301D和压力变送器PT301D的管路连接；