[发明专利]一种高质量四结空间太阳电池及其制备方法有效
申请号: | 202011331408.9 | 申请日: | 2020-11-24 |
公开(公告)号: | CN112447868B | 公开(公告)日: | 2022-05-20 |
发明(设计)人: | 黄珊珊;刘建庆;黄辉廉;刘恒昌;刘雪珍;杨文奕 | 申请(专利权)人: | 中山德华芯片技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/0304 | 分类号: | H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/0687;H01L31/18 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 冯炳辉 |
地址: | 528437 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 质量 空间 太阳电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种高质量四结空间太阳电池,包括Ge衬底,其特征在于:所述Ge衬底为p型Ge单晶片,在所述Ge衬底上面按照层状叠加结构由下至上依次设置有Ge子电池、GaInP成核层、GaInAs缓冲层、第一隧穿结、组分渐变缓冲层、DBR反射层、GaInAs子电池、第二隧穿结、AlGaInAs子电池、第三隧穿结、AlGaInP子电池;所述AlGaInAs子电池和AlGaInP子电池的基区与发射区之间形成耗尽层,且基区和发射区均为带隙渐变结构,基区的带隙随其Al组分沿远离衬底方向逐渐降低而降低,而发射区的带隙随其Al组分沿远离衬底方向逐渐增加而增加,通过在AlGaInAs子电池和AlGaInP子电池中引入带隙渐变结构,能够提高耗尽层的材料质量,降低光生载流子主要产生区域的少子复合速率,提高光生载流子收集效率,同时,渐变的带隙具有辅助背场的作用,使远离耗尽层的光生载流子向耗尽层漂移,并且,远离耗尽层的Al组分使AlGaInAs子电池和AlGaInP子电池的有效带隙更宽,有利于获得更高的开路电压。
2.根据权利要求1所述的一种高质量四结空间太阳电池,其特征在于:所述GaInP成核层、GaInAs缓冲层与Ge衬底保持晶格匹配;所述DBR反射层、GaInAs子电池、AlGaInAs子电池、AlGaInP子电池保持晶格匹配,与Ge衬底及GaInP成核层、GaInAs缓冲层晶格失配,并通过引入组分渐变缓冲层完成两组晶格之间的过渡。
3.根据权利要求1所述的一种高质量四结空间太阳电池,其特征在于:所述AlGaInAs子电池包含依次叠加的p型背场层、p型AlGaInAs带隙渐变基区、n型AlGaInAs带隙渐变发射区和n型窗口层,其中,AlGaInAs材料的In组分保持不变,禁带宽度为1.3~1.5eV。
4.根据权利要求3所述的一种高质量四结空间太阳电池,其特征在于:所述p型AlGaInAs带隙渐变基区沿远离衬底方向Al组分线性降低,其带隙随Al组分线性降低而降低,厚度为1000~2000nm;所述n型AlGaInAs带隙渐变发射区沿远离衬底方向Al组分线性增加,其带隙随Al组分线性增加而增加,厚度为80~120nm。
5.根据权利要求1所述的一种高质量四结空间太阳电池,其特征在于:所述AlGaInP子电池包含依次叠加的p型背场层、p型AlGaInP带隙渐变基区、n型AlGaInP带隙渐变发射区和n型窗口层,其中,AlGaInP材料的In组分保持不变,禁带宽度为1.8~2.1eV。
6.根据权利要求5所述的一种高质量四结空间太阳电池,其特征在于:所述p型AlGaInP带隙渐变基区沿远离衬底方向Al组分线性降低,其带隙随Al组分线性降低而降低,厚度为400~600nm;所述n型AlGaInP带隙渐变发射区沿远离衬底方向Al组分线性增加,其带隙随Al组分线性增加而增加,厚度为40~60nm。
7.根据权利要求1所述的一种高质量四结空间太阳电池,其特征在于:所述GaInP成核层为n型掺杂层,电子浓度为1×1018/cm3~1×1019/cm3,厚度为5~20nm;所述GaInAs缓冲层为n型掺杂层,电子浓度为5×1017/cm3~1×1019/cm3,厚度为500~1500nm;所述组分渐变缓冲层的材料为AlGaInP、AlGaInAs或GaInP,总厚度为2000~3000nm。
8.根据权利要求1所述的一种高质量四结空间太阳电池,其特征在于:所述DBR反射层的反射波长为900~1200nm,其组合层的对数为10~30对;所述GaInAs子电池包含依次叠加的p型背场层、p型基区、n型发射区和n型窗口层,总厚度为1500~3000nm,光学带隙为1.0~1.2eV。
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