[发明专利]一种碱性蚀刻液的再生循环利用方法

权利要求书

1.一种碱性蚀刻液的再生循环利用方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1、废碱性蚀刻液的收集：将再生液槽中的再生蚀刻液输送至碱性蚀刻线(SES)进行蚀刻，而后将产生的废碱性蚀刻液收集到蚀刻废液槽中；

步骤S2、萃取与反萃取处理：将经过步骤S1制成的废碱性蚀刻液输送到萃取槽中，添加萃取剂进行萃取；然后通过过滤操作分离富铜萃取剂和萃取母液，将其置于富铜萃取剂反萃取剂中进行反萃取得到电解液；

步骤S3、电解提铜：将经过步骤S2制成的电解液输入电解槽中进行电解，得到铜单质；

步骤S4、萃取母液再生：将经过步骤S2处理得到的萃取母液中加入再生剂，混合均匀后实现再生；

步骤S5、循环利用：将经过步骤S4再生处理后的碱性蚀刻再生液返回蚀刻生产线再次使用。

2.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻液的再生循环利用方法，其特征在于，步骤S2中所述萃取剂为强酸性苯乙烯系阳离子交换树脂、AMBERJET 1200H强酸性阳离子交换树脂中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻液的再生循环利用方法，其特征在于，步骤S2中所述废碱性蚀刻液、萃取剂的质量比为(3-5):1。

4.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻液的再生循环利用方法，其特征在于，步骤S2中所述反萃取剂为硫酸铜溶液、硝酸铜溶液中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻液的再生循环利用方法，其特征在于，步骤S2中所述反萃取剂的质量百分浓度为15-30％。

6.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻液的再生循环利用方法，其特征在于，步骤S3中所述电解阴极电流密度范围为800-1800A/m²，阳极电流密度范围为100-200A/m²。

7.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻液的再生循环利用方法，其特征在于，步骤S3所述再生剂的添加量为1L:(300-500)ppm萃取母液。

8.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻液的再生循环利用方法，其特征在于，步骤S3所述再生剂包括如下按重量份计的如下各组分：氨水3-5份、第一代聚硫脲树枝大分子2-4份、碳酸氢铵4-8份、双(2-羟乙基)氨基(三羟甲基)甲烷1-3份、N-[(5-甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基]二乙醇胺1-3份、羟基脲1-2份。

9.一种根据权利要求1-8任一项所述的碱性蚀刻液的再生循环利用方法制成的再生碱性蚀刻液。