[发明专利]压电式麦克风及压电式麦克风装置有效
| 申请号： | 202011337571.6 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112492472B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 石正雨;沈宇 | 申请（专利权）人： | 瑞声新能源发展（常州）有限公司科教城分公司;瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02 |
| 代理公司： | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人： | 李小东 |
| 地址： | 213167 江苏省常州市武进*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 麦克风 装置 | ||
1.一种压电式麦克风，其特征在于，包括：
具有收容腔的基底；
固定于所述基底的悬臂梁，所述悬臂梁上设有压电叠层结构；
设于所述基底与所述悬臂梁之间的牺牲层，以及
设于所述悬臂梁上的结构层，所述结构层的厚度大于所述压电叠层结构的厚度，所述结构层的长度小于所述悬臂梁的长度；所述悬臂梁包括固定于所述基底上的固定部和自所述固定部延伸并悬设置于所述收容腔上的自由部，所述结构层的一端固定在所述基底上，所述结构层的另一端固定在所述固定部上，所述固定部上设有预设锚定位置，所述结构层从所述固定部的端部延伸至所述预设锚定位置。
2.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述结构层的形状和固定位置通过刻蚀方式控制。
3.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述结构层采用氮化硅材料制成。
4.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述悬臂梁的形状为矩形、梯形、三角形和扇形中的一种。
5.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述悬臂梁设置多个，且相邻两个悬臂梁之间设置有间隙，每个所述悬臂梁上均设有所述结构层。
6.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述压电叠层结构包括自上而下依次叠设的上电极层、压电层以及下电极层。
7.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述压电叠层结构包括自上而下依次叠设的上电极层、上压电层、中间电极层、下压电层以及下电极层。
8.一种压电式麦克风装置，其特征在于，包括多个如权利要求1至7任一项所述的压电式麦克风，多个所述压电式麦克风呈阵列结构分布。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声新能源发展（常州）有限公司科教城分公司;瑞声科技（南京）有限公司，未经瑞声新能源发展（常州）有限公司科教城分公司;瑞声科技（南京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011337571.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
