[发明专利]钽、铌管状靶材生产方法在审
| 申请号： | 202011337995.2 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112593195A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 柴正伍 | 申请（专利权）人： | 宝鸡同盈稀有金属有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F3/10;B22F3/18;B22F3/24;B22F5/10 |
| 代理公司： | 西安尚睿致诚知识产权代理事务所(普通合伙) 61232 | 代理人： | 何凯英 |
| 地址： | 722405 陕西省宝鸡市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 管状 生产 方法 | ||
1.一种钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，包括以下步骤：
在选定的钽或铌粉末中加入粘结剂混匀进行粘结并装入冷压设备冷压成管状锭材；
采用真空烧结炉对成型的管状锭材进行烧结；
采用管材轧制机对烧结后的管状锭材进行多道次轧制，以使管状锭材的外径和内径分别达到预设尺寸；
对轧制后的管状锭材进行真空热处理并结晶退火；
对结晶退火后的管状锭材的内外表面进行机械加工，以使管状锭材的外径和内径分别达到最终成品尺寸。
2.根据权利要求1所述的钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，选定的钽或铌粉末为冶金级钽或铌粉末。
3.根据权利要求2所述的钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，选定的钽或铌粉末平均粒径60-120目，粉的纯度大于99.95％。
4.根据权利要求1所述的钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，所述粘结剂为酒精。
5.根据权利要求1所述的钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，采用冷压设备进行冷压成型的压力大于100MPA，保压时间5至10分钟。
6.根据权利要求1所述的钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，采用真空烧结炉对成型的管状锭材进行烧结时，烧结温度为2250℃至2350℃，保温69至75小时。
7.根据权利要求1所述的钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，采用管材轧制机对烧结后的管状锭材进行多道次轧制时，轧制机采用大两辊管材轧制机，每道次压下1.0mm至4.0mm。
8.根据权利要求1所述的钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，在对轧制后的管状锭材进行真空热处理并结晶退火之前，所述钽、铌管状靶材生产方法还包括以下步骤：
对经过多道次轧制后的管状锭材进行除油处理。
9.根据权利要求1所述的钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，对轧制后的管状锭材进行真空热处理时，真空炉温度为1100℃至1300℃，保温90分钟至120分钟。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宝鸡同盈稀有金属有限公司，未经宝鸡同盈稀有金属有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011337995.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种钢管生产测量装置
- 下一篇：影像采集模块及其组装方法
- 同类专利
- 专利分类
