[发明专利]一种高效低磷阻垢缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种高效低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，包括以下重量份数的原料：有机膦3~15重量份、有机胺10~25重量份、含氮多元醇膦酸酯2~10重量份、磺酸盐共聚物5~20重量份、唑类衍生物1~3重量份、渗透剂0.25~1.0重量份、醇类化合物10~20重量份、去离子水10~70重量份；所述有机膦为2-膦酰基-1,2,4-丁烷三羧酸、氨基三亚甲基膦酸中的一种或两种；所述有机胺为十六胺、十八胺、二十胺中的一种或两种；所述磺酸盐共聚物为丙烯酸/2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸共聚物、丙烯酸/丙烯磺酸钠共聚物、丙烯酸/2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸/丙烯酸羟丙酯三元共聚物中的一种或多种；所述唑类衍生物为苯骈三氮唑、甲基苯骈三氮唑、巯基苯骈噻唑中的一种或多种；所述醇类化合物为甲醇、乙醇、苯甲醇中的一种或多种；所述渗透剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、聚氧乙烯辛基苯酚醚中的一种或两种。

2.根据权利要求1所述的一种高效低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述脂肪醇聚氧乙烯醚为JFC-8、所述聚氧乙烯辛基苯酚醚为OP-10。

3.一种权利要求1-2任一项所述高效低磷阻垢缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：按高效低磷阻垢缓蚀剂的重量份称取原料；

S2：将称取的有机胺和醇类化合物依次加入搅拌的反应容器中，搅拌溶解；

S3：向S2的溶液中依次加入称取的有机膦、含氮多元醇膦酸酯、磺酸盐共聚物、渗透剂和去离子水，搅拌溶解；

S4：向S3的溶液中加入称取的唑类衍生物，然后在室温下均匀搅拌20~60min，得到高效低磷阻垢缓蚀剂。

4.根据权利要求3所述的高效低磷阻垢缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将20重量份十八胺和15重量份乙醇加入搅拌釜中，搅拌溶解后再依次加入10重量份2-膦酰基-1,2,4-丁烷三羧酸、6重量份含氮多元醇膦酸酯、12重量份丙烯酸/2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸共聚物、0.5重量份OP-10和34.5重量份去离子水，搅拌溶解；最后加入2重量份苯骈三氮唑，然后在室温下均匀搅拌30min，得到高效低磷阻垢缓蚀剂。