[发明专利]一种低磷阻垢缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，该阻垢缓蚀剂由以下重量份的原料组成：10-20份聚环氧琥珀酸、5-10份2-羟基膦酰基乙酸、3-8份水溶性锌盐、5-10份葡萄糖酸钠、20-30份多元共聚物和20-60份水；

所述多元共聚物由苯乙烯三甲基氯化铵提供的结构单元、C3-C10的不饱和羧酸提供的结构单元、C4-C8的丙烯酸酯提供的结构单元和C2-C10的不饱和磺酸基化合物提供的结构单元组成；

所述多元共聚物的极限粘度为0.06-0.12dL/g；

所述多元共聚物的制备方法包括以下步骤：

S1：将不饱和羧酸和水加入反应容器中，搅拌加热至60-90℃；

S2：向S1的溶液中依次缓慢加入过硫酸铵溶液、焦亚硫酸钠溶液、苯乙烯三甲基氯化铵、丙烯酸酯和不饱和磺酸基化合物，每加完一种组分后，保温搅拌20-60min，所有组分加料结束后保温反应1-3h，降至室温即得多元共聚物。

2.根据权利要求1所述的一种低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述不饱和羧酸为丙烯酸、甲基丙烯酸和亚甲基丁二酸中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的一种低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述丙烯酸酯为α-氰基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的一种低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述不饱和磺酸基化合物为烯丙基磺酸钠、乙烯基磺酸钠、苯乙烯磺酸中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的一种低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述水溶性锌盐为氯化锌、七水硫酸锌中的一种或两种。

6.根据权利要求1所述的一种低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述苯乙烯三甲基氯化铵、不饱和羧酸、丙烯酸酯与不饱和磺酸基化合物的重量比为1:(1-5):(0.5-2):(1-5)。

7.根据权利要求1-6任一项所述的低磷阻垢缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：常温下，将水、2-羟基膦酰基乙酸和水溶性锌盐进行搅拌混溶；

S2：向S1的溶液中依次加入葡萄糖酸钠、聚环氧琥珀酸、多元共聚物搅拌混均，即得低磷阻垢缓蚀剂。