[发明专利]一种高温压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种高温压力传感器，其特征在于，包括：相互连接的传感器头和转换电路板，所述传感器头包括：

封装外壳(1)，内部设有空腔(2)，空腔(2)一端设有气流通道(13)，另一端设有连接部(14)；

敏感微结构(7)，设置在空腔(2)内；所述敏感微结构(7)包括：烧结为一体的第一层(701)、第二层(702)和第三层(703)；第一层(701)，内表面印有两个同心正方形电容极板；第二层(702)，设置在第一层(701)和第三层(703)之间，正中央设有正方形空腔(711)；第三层(703)，内表面印有正方形电容，外表面通过磁控溅射有镍铬和镍硅热电偶薄膜；

前卡环(6)，设置在空腔(2)内的前端，对敏感微结构(7)的前端进行限位；

后卡环(8)，设置在空腔(2)的后端，对敏感微结构(7)的后端进行限位；

转换电路板(5)，设置在套筒外壳(4)内，用于将敏感微结构(7)受到的压力信号转换为电信号；

高温丝管壳(3)，一端通过连接部(14)与封装外壳(1)连接，另一端与套筒外壳(4)连接；

高温丝(10)，穿过高温丝管壳(3)，一端伸入封装外壳(1)内与敏感微结构(7)连接，另一端伸入套筒外壳(4)内与转换电路板(5)连接。

2.如权利要求1所述的高温压力传感器，其特征在于，所述封装外壳(1)采用镍基高温合金，气流通道(13)包括螺纹通孔和锥形通孔，锥形通孔靠近敏感微结构(7)，螺纹通孔和锥形通孔同轴心，有利于通入气体将压力均布于敏感微结构(7)的表面，所述高温丝管壳(3)内部设有陶瓷柱(11)，陶瓷柱(11)沿长度方向设有细孔(12)，高温丝(10)通过细孔(12)穿过陶瓷柱(11)。

3.如权利要求1所述的高温压力传感器，其特征在于，所述同心正方形电容极板的导电薄膜为铂薄膜(706)，第一层(701)的电容极板上溅射一层二氧化硅薄膜(707)作为过载保护薄膜，第三层(703)的正方形电容的导电薄膜为正方形铂薄膜(708)。

4.如权利要求1所述的高温压力传感器，其特征在于，所述高温丝(10)与敏感微结构(7)之间的孔隙(9)采用玻璃胶密封，敏感微结构(7)与封装外壳(1)之间的孔隙用高温焊接进行密封。

5.如权利要求1所述的高温压力传感器，其特征在于，所述敏感微结构(7)的上下表面均做电镀镍金处理。