[发明专利]一种基于迈克尔逊干涉的台阶仪探针

权利要求书

1.一种基于迈克尔逊干涉的台阶仪探针，包括固定架(1)，其特征在于：所述固定架(1)的中心固定设置有准直器(2)，所述准直器(2)中心的上部设置有准直透镜(3)，所述准直器(2)的上部耦接有总线光纤(4)，所述总线光纤(4)的上端设置有分光器(5)，所述分光器(5)的上方设置有输入光纤(6)，所述分光器(5)的右侧设置有输出光纤(7)，所述准直器(2)中心的下部耦接有耦合光纤(8)，所述耦合光纤(8)的下段固定连接有顶盖(9)，所述顶盖(9)的下方设置有氩气室(10)，所述氩气室(10)的上端连接有两根气管(11)，所述氩气室(10)的下端固定连接有测头支架(12)，所述测头支架(12)的中心设置有针形测头(13)，所述针形测头(13)的顶端设置有高反镜(14)，所述耦合光纤(8)的中心有内芯(81)，所述内芯(81)的外部包覆有高透包层(82)，所述高透包层(82)的外部包覆有外皮(83)，所述耦合光纤(8)的上段设置有耦合器(84)，所述耦合光纤(8)的下段设置有环形镜(85)。

2.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉的台阶仪探针，其特征在于：所述总线光纤(4)、输入光纤(6)和输出光纤(7)均使用单模光纤。

3.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉的台阶仪探针，其特征在于：所述耦合光纤(8)使用多模光纤，其包层材质也使用透光性好的材料。

4.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉的台阶仪探针，其特征在于：所述氩气室(10)上下密封连接，其上端所连的气管(11)不分进出口。

5.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉的台阶仪探针，其特征在于：所述测头支架(12)内设置有限制针形测头(13)下降与上升极限位置的机构。

6.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉的台阶仪探针，其特征在于：所述耦合器(84)截断耦合光纤(8)设置，上下表面与被截光纤熔接。

7.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉的台阶仪探针，其特征在于：所述环形镜(85)为上表面为镜面的环形结构，其内径与高透内芯(81)直径一致，其上下表面与被截光纤熔接。