[发明专利]一种气相原位质谱检测装置

权利要求书

1.一种气相原位质谱检测装置，其特征在于：包括依次连接的离子源室、加速室、透镜室及探测室，其中，离子源室内设有离子源组件，加速室内设有加速器和离子偏转单元，透镜室内设有离子聚焦透镜，探测室设有闸板阀、离子探测器和直线导入器；

离子源室内的离子源组件包括激光器、聚焦透镜、第一脉冲阀、第二脉冲阀、离子旋转杆、生长通道、反应通道和喷嘴；样品位于离子旋转杆内，激光器通过聚焦透镜将激光打在样品上，第一脉冲阀安装在聚焦透镜和样品之间的路线上方，用于通入冷却气体；生长通道位于聚焦透镜和样品之间的路线下方，和第一脉冲阀相对；反应通道位于生长通道下端，第二脉冲阀位于反应通道侧面，用于载入反应气体；喷嘴位于反应通道下端。

2.如权利要求1所述的一种气相原位质谱检测装置，其特征在于：加速器的第一电极片的长、宽、高分别是11-13mm、11-13mm、0.5-1.5mm；其余的电极片长、宽、高与第一电极片一样，但电极片中心是一个直径7-9mm的空心圆以供团簇离子飞行。

3.如权利要求1所述的一种气相原位质谱检测装置，其特征在于：离子源室的生长通道的直径为2.3-2.7mm，长为18-22mm。

4.如权利要求1所述的一种气相原位质谱检测装置，其特征在于：激光照射样品，在生长通道产生等离子体，等离子体进入反应通道，再与第二脉冲阀载入的气体反应生成团簇离子，团簇离子再通过喷嘴离开离子源室进入加速室。

5.如权利要求1所述的一种气相原位质谱检测装置，其特征在于：所述的加速室内设有加速器及第一离子偏转单元，离子偏转单元的离子偏转方向包括上下偏转和/或左右偏转。

6.如权利要求1所述的一种气相原位质谱检测装置，其特征在于：所述的透镜室包括第一离子聚焦透镜、第二离子聚焦透镜及第二离子偏转单元，保证团簇离子的聚焦及飞行方向，第一离子聚焦透镜和第二离子聚焦透镜两端接地，中间加电压400-600V。

7.如权利要求6所述的一种气相原位质谱检测装置，其特征在于：第二偏转单元的离子偏转方向包括左右偏转。

8.如权利要求1所述的一种气相原位质谱检测装置，其特征在于：将探测器固定在直线导入器上以调整其位置。

9.一种气相原位质谱检测方法，其特征在于，采用权利要求1至8任一项所述的气相原位质谱检测装置，利用激光通过聚焦透镜照射样品产生等离子体，等离子体经过反应通道再与第二脉冲阀载入的气体反应生成团簇离子，团簇离子离开离子源到达加速室，由加速器的高压双场脉冲将团簇离子加速推出，经离子偏转单元与离子聚焦透镜到达探测室，从而被探测器检测到团簇离子的分布信息。

10.如权利要求9所述的一种气相原位质谱检测方法，其特征在于，在更换样品或不工作时关闭闸板阀，以防离子源室漏气而有效保护探测器。