[发明专利]同时检测直线位移台定位精度及直线度的装置及方法有效
| 申请号： | 202011347266.5 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112525082B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 赵会宁;丁雯靖;符晗;于连栋;夏豪杰;蒲松 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/27 |
| 代理公司： | 北京科名专利代理有限公司 11468 | 代理人： | 陈朝阳 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 同时 检测 直线 位移 定位 精度 装置 方法 | ||
1.一种同时检测直线位移台定位精度及直线度的方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1搭建检测系统
S1.1将激光器和CCD相机以一定的距离固定，使得激光器出射的光束正好照射在相机镜头表面；
S1.2将待检测直线位移台设置在激光器和CCD相机间，在待检测直线位移台的工作台上安装圆台透镜，使得激光器的光束经过圆台透镜之后正常照射到CCD相机镜头表面，固定待检测直线位移台；
S2定位精度及直线度检测
S2.1记录CCD相机镜头表面光斑初始位置和形状；
S2.2改变待检测直线位移台的工作台在Y方向的位置，记录光斑当前位置和形状，得出光斑形状变化量、光斑分别在X、Z方向的位置变化量；
S2.3引入计算模型
式中，δx表示圆台透镜在X轴方向的位移量，δy表示圆台透镜在Y轴方向的位移量，δz表示圆台透镜在Z轴方向的位移量，XS表示CCD相机拍摄的光斑形状变化量，XCCD、YCCD分别表示CCD相机拍摄的光斑的位置变化量，n为材质为bk7玻璃的折射率，R为圆台透镜下底面半径，DL为激光器光束直径；
将步骤S2.2得到的光斑形状变化量、光斑分别在X、Y方向的位置变化量代入上述模型，得到圆台透镜在X、Y、Z方向的位移量；
S2.4圆台透镜在Y轴上的位移量δy和直线位移台实际位移量之差即为直线位移台的定位精度，圆台透镜在X、Z方向上的位移量δx、δz即为直线位移台在运动过程中的直线度。
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