[发明专利]一种激光加工装置、加工方法和加工设备

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：

第一激光模组，用于发射第一激光，所述第一激光在待切割器件表面形成第一光斑；

第二激光模组，用于发射第二激光，所述第二激光在所述待切割器件表面形成第二光斑；

第一运动模块，用于带动所述第一激光模组和所述第二激光模组同时运动，或者，带动所述待切割器件运动，以使所述第一激光和所述第二激光同时沿所述待切割器件的预设切割路径移动；

其中，所述第一光斑位于所述第二光斑前方预设距离处，以使所述第一激光和所述第二激光同时沿所述待切割器件的预设切割路径移动时，所述第一激光和所述第二激光依次在所述预设切割路径上形成切割槽和切割线，其中所述待切割器件沿所述切割线切割。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述第一激光模组还包括光路切换模块；

所述光路切换模块用于将所述第一激光的光路切换为第一光路或第二光路；

其中，若所述第一激光和所述第二激光沿预设切割路径朝第一方向移动，则所述光路切换模块将所述第一激光的光路切换为第一光路，使所述第一光斑位于所述第二光斑的第一侧，以在所述第一方向上使所述第一光斑位于所述第二光斑前方；

若所述第一激光和所述第二激光沿预设切割路径朝第二方向移动，则所述光路切换模块将所述第一激光的光路切换为第二光路，使所述第一光斑位于所述第二光斑的第二侧，以在所述第二方向上使所述第一光斑位于所述第二光斑前方，所述第二方向与所述第一方向相反。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，还包括第一控制模组；

所述第一控制模组用于控制所述光路切换模块对所述第一激光进行反射，来将所述第一激光的光路切换为第一光路，控制所述光路切换模块对所述第一激光进行透射或控制所述光路切换模块离开所述第一激光的光路，来将所述第一激光的光路切换为第二光路。

4.根据权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，所述光路切换模块包括光闸或扫描振镜。

5.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述第一激光模组包括第一激光器，所述第二激光模组包括第二激光器，所述激光加工装置还包括第二控制模组；

所述第二控制模组用于在形成切割槽时，控制所述第一激光器开启，在其他时段，控制所述第一激光器关闭，在形成切割线时，控制所述第二激光器开启，在其他时段，控制所述第二激光器关闭。

6.根据权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，所述第一激光模组还包括第一光路引导模组和第二光路引导模组；

所述第一光路引导模组至少包括所述光路切换模块，用于引导所述第一激光沿所述第一光路传输；

所述第二光路引导模组位于所述第一激光的光路上，用于引导所述第一激光沿所述第二光路传输。

7.根据权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，所述第一光路引导模组包括所述光路切换模块，所述第二光路引导模组包括第一反射镜；

或者，所述第一光路引导模组包括所述第一反射镜和所述光路切换模块，所述第二光路引导模组包括第一反射镜和第二反射镜。

8.一种激光加工设备，其特征在于，包括权利要求1～7任一项所述的激光加工装置；

所述激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组在同一工位对待切割器件进行激光加工。