[发明专利]一种立体结构电容器在审
| 申请号： | 202011347510.8 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112490221A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 马晓辉 | 申请（专利权）人： | 无锡市晶源微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L27/02 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 张彩珍 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市国家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 立体 结构 电容器 | ||
1.一种立体结构电容器，其特征在于，包括衬底，绝缘介质，正电极和负电极；
所述绝缘介质生长在衬底上，所述绝缘介质表面设有多层正电极和多层负电极；
每层正电极设有正电极延伸段，正电极延伸段嵌入绝缘介质并向负电极一侧延伸但不与负电极接触；
每层负电极设有负电极延伸段，负电极延伸段嵌入绝缘介质并向正电极一侧延伸但不与正电极接触；
相邻两层正电极及正电极延伸段之间设有第一通孔导电层，相邻两层负电极及负电极延伸段之间设有第二通孔导电层；
同一层的正电极和负电极的厚度相同。
2.根据权利要求1所述的立体结构电容器，其特征在于，每层正电极延伸段与每层负电极延伸段在绝缘介质中交错相邻并且相互平行。
3.根据权利要求1所述的立体结构电容器，其特征在于，每层正电极延伸段与每层负电极延伸段构成叉指结构。
4.根据权利要求2所述的立体结构电容器，其特征在于，相邻的每层正电极延伸段和负电极延伸段上有正对的表面。
5.根据权利要求4所述的立体结构电容器，其特征在于，所述相邻的每层正电极延伸段和负电极延伸段上正对的表面以及两者之间的绝缘介质构成第一电容器。
6.根据权利要求5所述的立体结构电容器，其特征在于，所述相邻同层的第一通孔导电层和第二通孔导电层上正对的表面以及两者之间的绝缘介质构成第二电器容。
7.根据权利要求6所述的立体结构电容器，其特征在于，所述电容器包含多个交替相邻的第一电容器和第二电容器。
8.根据权利要求1至7任一项所述的立体结构电容器，其特征在于，所述衬底为硅衬底。
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