[发明专利]一种OLED器件在线质量检测方法及应用

权利要求书

1.一种OLED器件在线质量检测方法，其特征在于，包括下述步骤：

用起始电压驱动点亮OLED器件，进行EL检测；

使用拉曼光谱仪对OLED器件进行成像，在无激发光源的条件下，收集OLED器件电致发光EL谱信息；

通过峰强信息成像得到EL谱各层EL成像图，确认坏点信息；

基于确认的坏点信息，在缺陷位置采用激光激发，收集记录PL及Raman谱信息；

通过峰强信息成像得到PL及Raman谱信息各层对应缺陷位置的PL及Raman成像图，PL成像图的峰强与活性层聚集程度正相关，Raman成像图的峰强与活性层厚度正相关；

改变激发光源，对OLED器件同一区域采集的多种光谱信息，联合EL、PL及Raman成像图对缺陷形成机理进行分析得到缺陷成因，统计记录缺陷种类，得到质量检测结果。

2.根据权利要求1所述的OLED器件在线质量检测方法，其特征在于，所述通过峰强信息成像得到EL谱各层EL成像图，确认坏点信息，具体步骤包括：

所述EL成像图中每个点包括峰强信息，采用不同颜色表示不同的峰强度值，将成像图中亮度不同的点记录为缺陷点，通过对成像图中的暗点进行计数得到缺陷点数量，并测量得到缺陷点尺寸。

3.根据权利要求1所述的OLED器件在线质量检测方法，其特征在于，所述收集记录PL及Raman谱信息，所述PL及Raman谱信息为多层的混合信号，采用单层谱进行分析。

4.根据权利要求1所述的OLED器件在线质量检测方法，其特征在于，所述通过峰强信息成像得到PL及Raman谱信息各层对应缺陷位置的PL及Raman成像图，具体步骤包括：

采用不同峰强信息成像，采用不同颜色表示不同的峰强度值，得到对应缺陷位置在活性层聚集程度和活性层厚度的差异。

5.根据权利要求1所述的OLED器件在线质量检测方法，其特征在于，所述联合EL、PL及Raman成像图对缺陷形成机理进行分析得到缺陷成因，具体步骤包括：

基于EL成像图记录成像区域的每一个点的发光强度，得到坏点信息，包括坏点的位置、数量及尺寸；

基于PL成像图记录成像区域的每一个点的活性层聚集程度；

基于Raman成像图记录成像区域的每一个点的活性层厚度；

结合坏点信息、活性层聚集程度和活性层厚度得到不同缺陷区域的形成影响因素，并记录为不同的缺陷种类。

6.根据权利要求1所述的OLED器件在线质量检测方法，其特征在于，对OLED器件施加不同的驱动电压，采集不同驱动电压下的PL成像信息，记录不同区域活性层聚集度的变化。

7.根据权利要求1所述的OLED器件在线质量检测方法，其特征在于，所述通过峰强信息成像得到EL谱各层EL成像图，采用629nm峰强成像，所述通过峰强信息成像得到PL及Raman谱信息各层对应缺陷位置的PL及Raman成像图，分别通过629nm和1282cm^-1峰强成像，所述OLED器件采用MEH-PPV OLED器件结构。