[发明专利]晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备

权利要求书

1.一种晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，包括：

固定支架；

籽晶轴，所述籽晶轴可上下移动地设在所述固定支架上，所述籽晶轴绕所述籽晶轴的中心轴线可转动，所述籽晶轴为刚性件；

密封组件，所述密封组件设在所述固定支架上且套设在所述籽晶轴的下端，所述籽晶轴相对所述密封组件可上下移动且可转动，所述密封组件与所述籽晶轴的外周面之间限定出适于容纳润滑油的润滑间隙，所述密封组件上形成有与所述润滑间隙连通的第一进口和第一出口，润滑油适于从所述第一进口进入所述润滑间隙，并适于从所述第一出口流出所述润滑间隙；

储油器，所述储油器内限定出用于容纳润滑油的储油腔，所述储油器具有与所述储油腔连通的第二进口和第二出口，所述储油器内的润滑油适于从所述第二出口流出并从所述第一进口流入所述润滑间隙，所述润滑间隙内的润滑油适于从所述第二出口流出并从所述第二进口流入所述储油腔。

2.根据权利要求1所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，所述储油腔与外界大气连通，在所述晶体生长设备工作时，所述储油器内的润滑油液面高于所述润滑间隙内的润滑油液面；

任选地，所述储油腔的最低位置高于所述润滑间隙的最高位置。

3.根据权利要求1所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，所述密封组件包括：

密封座，所述密封座设在所述固定支架上且套设在所述籽晶轴上，所述第一进口和所述第一出口均形成在所述密封座上；

第一密封件和第二密封件，所述第一密封件和所述第二密封件均设在所述密封座内且相对所述密封座固定，所述第一密封件和所述第二密封件在上下方向上间隔排布，所述第一密封件和所述第二密封件均套设在所述籽晶轴上，所述籽晶轴、所述密封座、所述第一密封件和所述第二密封件共同限定出所述润滑间隙。

4.根据权利要求3所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，所述第一密封件为沿上下方向排布的多个；任选地，所述密封组件还包括第一间隔垫片，所述第一间隔垫片设在相邻两个所述第一密封件之间；

和/或，所述第二密封件为沿上下方向排布的多个；任选地，所述密封组件还包括第二间隔垫片，所述第二间隔垫片设在相邻两个所述第二密封件之间。

5.根据权利要求3所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，所述密封组件还包括：密封支撑，所述密封支撑设在所述密封座内且位于所述第一密封件和所述第二密封件之间，所述密封支撑与所述密封座相连，最邻近所述密封支撑的所述第一密封件以及最邻近所述密封支撑的所述第二密封件均与所述密封支撑相连，所述籽晶轴、所述密封座、所述第一密封件、所述第二密封件和所述密封支撑共同限定出所述润滑间隙。

6.根据权利要求1所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，用于驱动所述籽晶轴转动的第一驱动机构包括中空轴电机，所述中空轴电机套设在所述籽晶轴上，且所述籽晶轴相对所述中空轴电机的转子固定。

7.根据权利要求1所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，用于驱动所述籽晶轴上下移动的第二驱动机构包括：

电机，所述电机设在所述固定支架上；

丝杠，所述丝杠包括螺纹连接的螺杆和螺母，所述螺杆与所述电机的输出轴相连，在所述螺母上下移动时所述螺母可带动所述籽晶轴上下移动，且所述籽晶轴相对所述螺母可转动。

8.根据权利要求7所述的晶体生长设备的提拉系统，其特征在于，包括：滚动轴承，所述滚动轴承套设在所述籽晶轴上，所述籽晶轴相对所述滚动轴承的内圈固定，所述滚动轴承的外圈与所述螺母相连；

任选地，所述提拉系统包括：滑座和滑轨，所述滚动轴承设在所述滑座上，且所述滚动轴承的外圈相对所述滑座固定，所述滑座与所述螺母相连，所述滑轨设在所述固定支架上且沿上下方向延伸，所述滑座沿上下方向可滑动地配合在所述滑轨上；

任选地，用于驱动所述籽晶轴转动的第一驱动机构包括中空轴电机，所述中空轴电机连接在所述滑座上，所述中空轴电机套设在所述籽晶轴上，且所述籽晶轴相对所述中空轴电机的转子固定。