[发明专利]大功率低频间歇超声辅助电铸系统及方法

权利要求书

1.一种大功率低频间歇超声辅助电铸系统，其特征在于：

由继电器（1），超声波发生器（2），超声换能器（3），电源（4），阳极板（5），光刻胶阴极（6），电铸液（7）和电沉积槽（8）组成；

其中继电器（1）一端连接超声波发生器（2）阴极，另一端连接超声换能器（3）阴极，超声波发生器（2）阳极连接超声换能器（3）阳极；电源（4）阳极连接阳极板（5），电源（4）阴极连接光刻胶阴极（6）；

其中超声换能器（3），阳极板（5）和光刻胶阴极（6）均放置在注满电铸液（7）的电沉积槽（8）内；

超声换能器（3）侧面垂直于阳极板（5）和光刻胶阴极（6），阳极板（5）和光刻胶阴极（6）相对正面放置；

其中超声波发生器（2）和超声换能器（3）的频率相同，为20 KHz或40 KHz；超声换能器（3）的功率可调，功率范围为100 W-400 W；继电器（1）的工作时间T_on和关闭时间T_off之和大于超声波发生器（2）或超声换能器（3）的工作周期。

2.根据权利要求1所述的大功率低频间歇超声辅助电铸系统的方法，其特征在于包括以下：

在继电器（1）T_on时，超声换能器（3）和电源（4）同时工作，溶液中的金属阳离子在电场力和超声波的作用下，快速地沉积在光刻胶阴极（6）表面，同时光刻胶阴极（6）表面上产生的氢气泡可以快速离开表面；

在继电器（1）T_off时，超声换能器（3）停止工作，电源（4）继续工作；光刻胶阴极（6）表面上无超声辅助作用，溶液中的金属阳离子仅在电场力的作用下沉积在光刻胶阴极（6）表面；

上述继电器（1）T_on和T_off的循环实现了超声辅助间歇性作用在光刻胶阴极（6）表面；

其中光刻胶阴极（6）的模图形是采用UV-LIGA光刻技术制备的；其上的图形可根据具体的需要决定。