[发明专利]螺旋式真空泵

说明书

本申请发明提供一种不需要冷却装置，不产生冷凝水，真空度较高的螺旋式真空泵。本申请发明的螺旋式真空泵（1）为，若电动马达（4）驱动而驱动轴（20）被旋转，则第二驱动螺旋部件（17）和与其连结的第三驱动螺旋部件（28）和第一驱动螺旋部件（6）旋转，伴随于此，第一以及第二从动螺旋部件（12），（23）一边旋转一边相对于前述第一、第二以及第三驱动螺旋部件（6），（17），（28）相对地进行回旋运动，因此第一、第二膨胀空间（13），（29）从中心部朝向最外周部一边扩大其容积一边膨胀，第一以及第二压缩空间（24），（32）从最外周部朝向中心部一边缩小其容积一边压缩，因此能够将流体吸引和排出。

技术领域

本发明涉及一种将流体吸引而使其膨胀后压缩而排出的螺旋式真空泵。

背景技术

专利文献1（日本特开2007－182822号公报）公开有如下的膨胀压缩机：在具有与压缩机的驱动轴结合的输出轴的膨胀机被一体化的膨胀压缩机中，所述压缩机借助斜板凸轮机构将驱动轴的旋转进行变换，使与驱动轴平行地配列的多个活塞往复运动，前述膨胀机被配置在前述驱动轴的前述活塞侧。

专利文献2（日本特开2007－127018号公报）公开有一种气体膨胀压缩机，构成为将使气体膨胀的膨胀机与将气体压缩的压缩机组装在外壳内而利用前述膨胀机的输出来驱动前述压缩机，其中，将前述膨胀机和前述压缩机构成为，将利用前述膨胀机使从外壳外部导入的高压气体膨胀从而产生的动力向前述压缩机动力传递，利用前述压缩机将从外壳外部导入的低压气体压缩，使该膨胀后和压缩后的气体在前述外壳内或者外壳附近汇合，而一起被送出该外壳。

【专利文献1】日本特开2007－182822号公报

【专利文献2】日本特开2007－127018号公报。

专利文献1中公开的膨胀压缩机是将膨胀机与压缩机一体地形成的结构，所述膨胀机作为在将二氧化碳等作为冷却介质而使用的超临界循环中被使用的膨胀机构，将冷却介质通过膨胀机时产生的能量作为压缩机的驱动能量而回收。

专利文献2中公开的气体膨胀压缩机的膨胀机是用于令利用热源而获得的高压的气体膨胀而将其动力取出，并驱动冷冻循环用的压缩机的部件。

在现有的螺旋式真空泵中，由固定螺旋部件以及回旋螺旋部件划分出的压缩室从最外周部朝向中心部而将容积缩小，由此吸引流体而压缩并排出，为了获得高真空，需要较高的压缩比，从而中心的排出口在高压下产生压缩热，位于中心部的轴承变为高温，为此需要设置大型的冷却机构。

此外，在从最外周部吸引空气而从中心部喷出的螺旋式真空泵中，在中心部产生冷凝水，因为对真空度的影响、对轴承和封闭润滑脂产生不利作用，所以需要气体稳定机构等定期地将水进行排水的机构。

此外，在从最外周部吸引空气而从中心部喷出的螺旋式真空泵中，泵内部的流体的泄漏是从中心部的高压部向决定真空度的外周部的吸入侧的低压部的泄漏，为此难以将真空度提高。

关于这些问题点，在专利文献1以及2中是不可能解决的。

发明内容

由此，本申请发明目的在于提供一种不需要冷却装置，不产生冷凝水，真空度高的螺旋式真空泵。

因而本申请发明的螺旋式真空泵至少具备：

壳体，划分有内部空间；

第一驱动螺旋部件，具备：旋转轴，旋转自如地被支承于该壳体，并且形成有吸引口；第一驱动螺旋镜板，与该旋转轴一体地形成；以及第一驱动螺旋，从该第一驱动螺旋镜板沿轴向突出并且沿径向螺旋状地延伸；

第一从动螺旋部件，具备：第一从动螺旋，与前述第一驱动螺旋啮合，划分在中心部与前述吸引口连通并且在最外周部与前述内部空间连通的第一膨胀空间；第一从动螺旋镜板，供该第一从动螺旋立设；以及第一从动螺旋，从该第一从动螺旋镜板向轴向相反侧突出并且沿径向螺旋状地延伸；