[发明专利]具备可变温度调节装置的金属氧化物电子束蒸发源

权利要求书

1.一种具备可变温度调节装置的金属氧化物电子束蒸发源，包括：

坩埚，其保管由电子束直接注射的金属氧化物构成的沉积物质，其中所述金属氧化物由氧化锌系列金属氧化物半导体物质或者氧化钛、氧化钽、氧化锆构成；

N个加热部，其具备在所述坩埚的外侧部，将所述坩埚区分为N个区域并分别具备在所述N个区域，并且所述N个加热部包括：第一加热部，具备在所述坩埚外侧部的上侧并加热第一区域；第二加热部，具备在所述坩埚外侧部的下侧并加热第二区域；及第三加热部，具备在所述坩埚下部面并加热第三区域；

检查部，其检测由所述金属氧化物构成的沉积物质随着电子束的注射而变化的模样；

控制部，其为了减小电子束注射区域和未注射区域的温度差而控制所述N个加热部，使所述坩埚的上部区域比下部区域维持更高的温度，

所述控制部通过控制所述N个加热部，使得所述N个区域的各区域之间的温度差值保持在设定温度以下而不产生大的热应力，从而防止所述沉积物质发生裂缝现象，

所述控制部将所述第一加热部的温度控制为第一温度，将所述第二加热部的温度控制为第二温度，将所述第三加热部的温度控制为第三温度，所述第一温度、所述第二温度以及所述第三温度得温度差值为设定温度以下，

所述控制部通过控制所述N个加热部，使得当由所述检查部检测的所述沉积物质的模样变成处于所述第一加热部下方时，关闭所述第一加热部，将所述第二加热部的温度控制为第一温度，将第三加热部的温度控制为第二温度，之后当由所述检查部检测的所述沉积物质的模样变成处于所述第二加热部下方时，关闭所述第一加热部和所述第二加热部，将所述第三加热部的温度控制为第一温度，从而使所述N个区域的各区域的温度根据所述沉积物质变化的模样而依次变化，

还包括容器，所述容器包裹所述坩埚的外侧部，且在内部具备所述N个加热部及所述控制部。