[发明专利]槽式清洗设备及清洗方法在审
申请号: | 202011356226.7 | 申请日: | 2020-11-27 |
公开(公告)号: | CN112657930A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 郑云亮;吴仪;李嘉 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/02;B08B3/12 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 清洗 设备 方法 | ||
1.一种槽式清洗设备,其特征在于,包括清洗槽和设置在所述清洗槽上的注液装置、排液装置和水雾喷淋装置,其中,
所述注液装置用于向所述清洗槽内注入清洗液体;
所述排液装置位于所述清洗槽的底部,用于排出所述清洗槽中的清洗液体;
所述水雾喷淋装置位于所述清洗槽的预设最高液位以上,用于朝位于所述清洗槽内的待清洗件喷淋水雾。
2.根据权利要求1所述的槽式清洗设备,其特征在于,所述水雾喷淋装置包括至少一套水雾产生组件,所述水雾产生组件包括雾化结构、进水管路和出水管路,其中,
所述进水管路的输入端用于与清洗液体源连接,以向所述雾化结构中输送清洗液体;
所述出水管路的输出端用于与所述清洗液体源连接,以排出所述雾化结构中的清洗液体;
所述雾化结构用于将所述清洗液体雾化产生水雾,并将所述水雾朝位于所述清洗槽内的待清洗件喷淋。
3.根据权利要求2所述的槽式清洗设备,其特征在于,所述雾化结构包括用于存储所述清洗液体的容器,以及设置在所述容器中的超声波换能器,其中,所述超声波换能器用于通过产生振动来使所述容器中的清洗液体转换为水雾;
所述容器具有第一进水口、第一出水口和第一出雾口,其中,所述进水管路的输出端与所述第一进水口连接;所述出水管路的输入端与所述第一出水口连接;所述第一出雾口与所述清洗槽的内部连通,用于朝位于所述清洗槽内的待清洗件喷淋水雾。
4.根据权利要求2所述的槽式清洗设备,其特征在于,所述雾化结构包括雾化喷嘴,所述雾化喷嘴具有第二进水口、第二出水口和第二出雾口,其中,所述进水管路的输出端与所述第二进水口连接;所述出水管路的输入端与所述第二出水口连接,所述第二出雾口与所述清洗槽的内部连通,用于朝位于所述清洗槽内的待清洗件喷淋水雾。
5.根据权利要求2-4任意一项所述的槽式清洗设备,其特征在于,所述水雾产生组件为多套,且沿所述清洗槽的圆周方向间隔分布。
6.根据权利要求2-4任意一项所述的槽式清洗设备,其特征在于,所述水雾产生组件设置在所述清洗槽的侧壁上。
7.根据权利要求1所述的槽式清洗设备,其特征在于,所述注液装置包括多个注液喷嘴,且多个所述注液喷嘴中有至少一个注液喷嘴设置在所述清洗槽的顶部开口上方;其余的所述注液喷嘴设置在所述清洗槽内的底部。
8.一种清洗方法,其特征在于,应用于权利要求1-7任意一项所述的槽式清洗设备,所述清洗方法包括:
S1、将待清洗件放入盛放有清洗液体的清洗槽中;
S2、使用所述注液装置或者将所述注液装置与所述排液装置结合使用,置换所述清洗槽中的清洗液体,以去除所述待清洗件上残留的药液;同时,开启所述水雾喷淋装置,朝位于所述清洗槽内的所述待清洗件喷淋水雾。
9.根据权利要求8所述的清洗方法,其特征在于,所述步骤S2具体包括:
S21、开启所述排液装置和所述水雾喷淋装置,以排出所述清洗槽中的清洗液;
S22、待所述清洗槽中的清洗液体排空,开启所述注液装置,向所述清洗槽内输送所述清洗液体,直至所述清洗液体的液位到达最高预设最高液位;
在进行步骤S21和步骤S22的过程中,保持所述水雾喷淋装置开启。
10.根据权利要求8所述的清洗方法,其特征在于,所述注液装置包括多个注液喷嘴,且多个所述注液喷嘴中有至少一个注液喷嘴设置在所述清洗槽的顶部开口上方;其余的所述注液喷嘴设置在所述清洗槽内的底部;所述步骤S2具体包括:
开启设置在所述清洗槽内底部的所述注液喷嘴,向所述清洗槽内输送清洗液体,并使清洗液体自所述清洗槽的顶部开口溢出;在此过程中,保持所述水雾喷淋装置开启。
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