[发明专利]用于确定折射率、中心张力或应力分布的设备和方法

权利要求书

1.一种用于测量样品的应力分布的设备，其包括：

腔体，其至少部分由包含第一折射率的第一参比块的第一主表面限定，所述腔体被构造用于接收样品；

偏振切换光源，其被构造用于将第一偏振切换光束发射向腔体；

第二偏振切换光源，其被构造用于将第二偏振切换光束发射向腔体；

第一检测器，其被构造用于检测来自第一偏振切换光束的信号；

第二检测器，其被构造用于检测来自第二偏振切换光束的信号，

其中，第一参比块位于第二检测器与腔体之间，并且第一参比块位于第二检测器与第二参比块之间。

2.如权利要求1所述的设备，其还包括样品保持器，所述样品保持器能够在垂直于第一主表面的方向上平移。

3.如权利要求2所述的设备，其中，样品保持器位于第二偏振切换光源与腔体之间。

4.如权利要求2-3中任一项所述的设备，其中，样品保持器位于第一偏振切换光源与腔体之间。

5.如权利要求2-4中任一项所述的设备，其中，第二偏振切换光束被构造成沿着第二光束路径行进，所述样品保持器包括面向腔体的第一主表面和与第一主表面相对的第二主表面，所述第二光束路径以相对于样品保持器的第二主表面垂直的方向成约10°至约15°的角射在样品保持器的第二主表面上。

6.如权利要求1-5中任一项所述的设备，其还包括第二参比块，所述第二参比块包括第二主表面，所述腔体进一步由第二主表面限定，第一参比块包括第一折射率，并且第二参比块包括第二折射率。

7.如权利要求6所述的设备，其中，第二折射率基本上等于第一折射率。

8.如权利要求1-7中任一项所述的设备，其还包括与第一参比块接触的液体，所述液体包括第三折射率。

9.如权利要求8所述的设备，其中，第三折射率大于第一折射率。

10.如权利要求8-9中任一项所述的设备，其中，第一折射率与第三折射率之间的差的大小为约0.05或更大。

11.一种确定样品的估算应力分布的方法，其包括：

测量样品的延迟分布；

根据测得的样品的延迟分布来确定样品的中心张力；

测量样品的折射率分布；

根据测得的折射率分布来确定样品的初始应力分布；

基于初始应力分布和中心张力，对初始应力分布进行缩放以获得样品的缩放的应力分布；以及

调整缩放的应力分布以获得经过力平衡的估算应力分布。

12.如权利要求11所述的方法，其中，所述样品包括层压件，所述层压件包括位于第一外层与第二外层之间的芯层，所述芯层包括中心张力。

13.如权利要求11-12中任一项所述的方法，其中，所述样品包括玻璃基样品。

14.如权利要求11-13中任一项所述的方法，其中，确定中心张力包括：

确定包含中心张力的中心区域的宽度；

确定包含拟合宽度的拟合范围，所述拟合宽度小于不包括延迟分布的一个或多个端部的中心部分的宽度；

在拟合范围内，将多项式拟合到延迟分布的一部分；以及

根据拟合的多项式来确定样品的中心张力。

15.如权利要求11-14中任一项所述的方法，其还包括：使第一参比块与液体接触。

16.如权利要求15所述的方法，其中，所述液体包含小于第一折射率的第三折射率。