[发明专利]一种探针及插座匹配方法

说明书

本发明一种探针及插座匹配方法属于半导体测试技术领域；该方法首先在探针下方的弯曲结构与均分架中绝缘柱的方向一致的情况下，将探针结构向插座结构方向插入，再使探针绕自身旋转，且弯曲结构指向导电层，此时向下移动均分架，使得探针下方的弯曲结构与导电层接触，此时进行探针的测试，然后向上移动均分架，使均分架中的绝缘柱与三角体基座上的绝缘板分离，并使探针绕自身旋转，使探针下方的弯曲结构与均分架中绝缘柱的方向一致，最后将探针结构从插座结构中拔出；本发明探针及插座匹配方法降低了探针与插座的对准难度，不容易损坏探针，实现了拆装过程可逆，有利于进行重复性测试，同时还能够解决大电流下探针之间放电而造成短路的问题。

技术领域

本发明一种探针及插座匹配方法属于半导体测试技术领域。

背景技术

随着半导体技术和MEMS技术的发展，集成电路芯片结构也日趋复杂。为了确保集成电路的电气质量，需要在芯片封装前进行测试。测试过程中，可以将探针插入插座进行测试。然而，随着探针尺寸逐渐减小，在微米级甚至亚微米级尺寸下，探针与插座的对准就变得困难，如果硬插入（插座位置不随探针调整，固定不动），容易造成探针的损坏，同时，因插入会造成探针弯曲，容易出现相邻两个探针距离过近，在进行大功率芯片测试过程中，由于电流过大，容易出现探针之间放电而造成短路的问题。

同时，精密测量技术告诉我们，要想让测试结果具有更大的置信区间，即测量结果更加可信、可靠，需要进行多次测量，那么，探针进行拆装反复测试就显得尤为重要，在微米级甚至亚微米级尺寸下，进行探针与插座的反复拆装且不损伤探针就显得尤为困难。

中华精测科技股份有限公司申请的申请号为201711115635.6的发明专利《垂直式探针卡之探针装置》，涉及到了一种装针方法，该方法通过移动中间导板，使得探针向同一方向弯曲，虽然解决的是“盖头不易”问题，但是该技术方案能够成功限制探针之间的距离，因此能够解决大电流下探针之间放电而造成短路的问题。然而，这种方法由于缺少对中间导板进行精密定位的结构，因此在移动中间导板时，非常容易造成探针弯曲程度超出弹性变形范围，进而造成探针不可恢复，进而装针拆针不可逆，因此无法对统一探针进行拆装反复测试。

发明内容

针对上述问题，本发明公开了一种探针及插座匹配方法，通过三角体基座和均分架的机构设置，同时配合先插入、再对准、后接触的步骤，降低了探针与插座的对准难度，不容易损坏探针，同时实现了拆装过程可逆，有利于进行重复性测试，同时还能够限制探针之间的距离，解决大电流下探针之间放电而造成短路的问题。

本发明的目的是这样实现的：

一种探针及插座结构，包括相互匹配的探针结构和插座结构，

所述探针结构包括限位板，贯穿限位板并成阵列分布的探针，所述探针能够绕自身旋转，探针在限位板上方设置有齿轮，在与齿轮同平面上，设置有齿条框架，所述齿条框架由多个平行的齿条构成，所述齿条与齿轮啮合，所述探针的下方设置有弯曲结构，所有探针的弯曲结构向同一方向弯曲；

所述插座结构包括基板，能够在基板上滑动的三角体基座和能够上下移动的均分架；所述三角体基座的一侧设置有豁口，所述豁口的内侧面设置有导电层，所述导电层通过导线从三角体基座下方穿过基板连接外部，所述三角体基座的另一侧设置有绝缘板，所述均分架为多个平行且间距相同的绝缘柱构成，所述绝缘柱的方向与齿条的方向垂直。

上述探针及插座结构，所述探针与限位板之间设置有轴承，所述轴承的外圈与限位板过盈配合，所述轴承的内圈与探针过盈配合。

上述探针及插座结构，所述齿条框架中，多个平行的齿条的两端均设置有同步板，其中一个同步板的外端部设置有丝杠，所述丝杠上设置有能够绕自身旋转的螺母，所述螺母安装在空心轴电机的内部，所述空心轴电机运行，带动螺母转到，进而带动同步板平移，最终带动探针转动。