[发明专利]一种高纯四硼化硅粉末及其制备方法

权利要求书

1.一种高纯四硼化硅粉末的制备方法，其特征在于，采用结晶度在40%-60%之间的硼粉，选择硼粉和硅粉以3.2:1-4:1的硼硅摩尔比例在气氛炉中高温反应合成，具体包括如下步骤：

（1）将硅粉和硼粉按比例称重，所述硅粉平均粒度在4-8微米之间，纯度在99.99%以上，所述硼粉平均粒度在1-3微米之间，纯度在99%以上；

（2）将硅粉和硼粉放入混料机中混合均匀；

（3）将混合均匀的粉末装入刚玉坩埚中，并将坩埚放入气氛烧结炉中，使用高纯氩气对气氛炉炉腔进行清洗，直至炉腔内氧含量低于30 ppm；

（4）在氩气气氛保护下以5 ℃/min的速率升温至1280-1350℃，保温2-3 h，以5 ℃/min的速度降温至室温；

（5）将烧结后的粉末使用行星球磨机球磨破碎。

2.根据权利要求1所述的高纯四硼化硅的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，向混料机中加入玛瑙球和酒精，球料比为2:1，酒精与粉末的比例为2:1，混合时间为2 h，混合均匀后将粉末与酒精的混合物倒入托盘中，放入烘箱中70℃烘干。

3.根据权利要求1所述的高纯四硼化硅的制备方法，其特征在于，所述步骤（5）中，球料比为2:1，酒精与粉末的比例为2:1，球磨时间为4 h，球磨后在70℃烘干酒精，使用200目筛网过滤出玛瑙球。