[发明专利]测定方法、管理方法以及光学部件的制造方法在审

专利信息
申请号: 202011367256.8 申请日: 2020-11-27
公开(公告)号: CN112924457A 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 川上武志 申请(专利权)人: 住友化学株式会社
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/84
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 齐秀凤
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 测定 方法 管理 以及 光学 部件 制造
【权利要求书】:

1.一种测定方法,该方法测定包括第1构件层和第2构件层的层叠体的端部区域,

所述第1构件层具有第1端部,

所述第2构件层具有从所述层叠体中的所述第1构件层以及所述第2构件层的层叠方向观察,与所述第1端部位于相同侧的第2端部,

所述端部区域是所述层叠体中的从所述第1端部遍及至所述第2端部的区域,

所述方法具备:

在所述端部区域照射检查光的照射工序;

检测作为由所述端部区域反射的所述检查光的反射光的检测工序;和

基于所述反射光的检测结果,计算所述第1端部与所述第2端部之间的距离的计算工序。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,

所述第1构件层为树脂膜层,所述第2构件层为包含粘合剂或粘接剂的涂敷层。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其中,

所述检查光具有明部和暗部交替地配置的条纹图案。

4.根据权利要求3所述的方法,其中,

所述条纹图案的形状周期性地变动。

5.根据权利要求4所述的方法,其中,

所述条纹图案的形状在第1图案与第2图案之间周期性地变动,

所述第2图案中的所述明部以及所述暗部的延伸方向与所述第1图案中的所述明部以及所述暗部的延伸方向正交。

6.根据权利要求1~5的任一项所述的方法,其中,

所述层叠体为长条的层叠体,

一边在长边方向上搬运所述层叠体一边实施照射所述检查光的工序以及检测所述反射光的工序。

7.一种管理方法,该方法是管理包括第1构件层和第2构件层的层叠体的端部区域的方法,

所述第1构件层具有第1端部,

所述第2构件层具有从所述层叠体中的所述第1构件层以及所述第2构件层的层叠方向观察,与所述第1端部位于相同侧的第2端部,

所述端部区域是所述层叠体中的从所述第1端部遍及至所述第2端部的区域,

所述方法具备:

在所述端部区域照射检查光的照射工序;

检测作为由所述端部区域反射的所述检查光的反射光的检测工序;

基于所述反射光的检测结果,计算所述第1端部与所述第2端部之间的距离的计算工序;和

判定计算得到的所述距离是否为给定范围内的判定工序。

8.根据权利要求7所述的方法,其中,

所述第1构件层为树脂膜层,所述第2构件层是包含粘合剂或粘接剂的涂敷层。

9.根据权利要求7或8所述的方法,其中,

所述检查光具有明部和暗部交替地配置的条纹图案。

10.根据权利要求9所述的方法,其中,

所述条纹图案的形状周期性地变动。

11.根据权利要求10所述的方法,其中,

所述条纹图案的形状在第1图案与第2图案之间周期性地变动,

所述第2图案中的所述明部以及所述暗部的延伸方向与所述第1图案中的所述明部以及所述暗部的延伸方向正交。

12.根据权利要求7~11的任一项所述的管理方法,其中,

在所述照射工序之前还包括:使所述第2构件层层叠在具有所述第1构件层的层叠构件或所述第1构件层的层叠工序。

13.根据权利要求12所述的方法,其中,

在所述层叠工序中,通过在所述第1构件层上对涂敷材料进行涂敷来将所述第2构件层层叠在所述第1构件上。

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