[发明专利]超声波设备

权利要求书

1.一种超声波设备，其特征在于，具备：

基板，具备多个开口部以及壁部，所述壁部配置在相邻的所述开口部之间；

振动板，封闭所述开口部；以及

多个振动元件，设置在所述振动板的从所述基板及所述振动板的层叠方向观察时与所述开口部重叠的位置，

所述多个振动元件包括第一振动元件、第二振动元件以及第三振动元件，

多个所述开口部包括：第一开口部、隔着第一壁部与所述第一开口部相邻的第二开口部、隔着第二壁部与所述第一开口部相邻的第三开口部和隔着第三壁部与所述第三开口部相邻的第四开口部，

所述振动板中封闭所述第一开口部的第一振动部与配置于该第一振动部的所述第一振动元件构成发送超声波的第一超声波发送部，

所述振动板中封闭所述第二开口部的第二振动部与配置于该第二振动部的所述第二振动元件构成接收超声波的第一超声波接收部，

所述振动板中封闭所述第三开口部的第三振动部与配置于该第三振动部的所述第三振动元件构成发送超声波的第二超声波发送部，

所述振动板中封闭所述第四开口部的第四振动部与配置于该第四振动部的所述第四振动元件构成接收超声波的第三超声波接收部，

所述第一壁部的从所述第一开口部至所述第二开口部的宽度大于所述第二壁部的从所述第一开口部至所述第三开口部的宽度，

所述第二壁部的从所述第一开口部至所述第三开口部的宽度等于所述第三壁部的从所述第三开口部至所述第四开口部的宽度。

2.根据权利要求1所述的超声波设备，其特征在于，

所述第一壁部的从所述第一开口部至所述第二开口部的宽度为40μm以上，

所述第二壁部的从所述第一开口部至所述第三开口部的宽度小于40μm。

3.根据权利要求1或2所述的超声波设备，其特征在于，

所述壁部的从所述振动板至与所述振动板相反的一侧的端面的尺寸为90μm以下。

4.一种超声波设备，其特征在于，具备：

振动板；

保护部件，与所述振动板接合，且具备将所述振动板分割为多个振动部的突出部；以及

多个振动元件，分别配置于所述振动板的所述多个振动部，

多个所述振动部包括：第四振动部、隔着第一突出部与所述第四振动部相邻的第五振动部、隔着第二突出部与所述第四振动部相邻的第六振动部和隔着第三突出部与所述第六振动部相邻的第七振动部，

所述多个振动元件包括第四振动元件、第五振动元件、第六振动元件和第七振动元件，

所述第四振动部与配置于该第四振动部的所述第四振动元件构成发送超声波的第三超声波发送部，

所述第五振动部与配置于该第五振动部的所述第五振动元件构成接收超声波的第二超声波接收部，

所述第六振动部与配置于该第六振动部的所述第六振动元件构成发送超声波的第四超声波发送部，

所述第七振动部与配置于该第七振动部的所述第七振动元件构成接收超声波的第四超声波接收部，

所述第一突出部的从所述第四振动部至所述第五振动部的宽度大于所述第二突出部的从所述第四振动部至所述第六振动部的宽度，

所述第二突出部的从所述第四振动部至所述第六振动部的宽度等于所述第三突出部的从第六振动部至所述第七振动部的宽度。

5.根据权利要求4所述的超声波设备，其特征在于，

所述第一突出部的从所述第四振动部至所述第五振动部的宽度为40μm以上，

所述第二突出部的从所述第四振动部至所述第六振动部的宽度小于40μm。

6.根据权利要求4或5所述的超声波设备，其特征在于，

所述保护部件具备与所述振动板对置的基座部，

所述突出部被设置为从所述基座部朝向所述振动板突出，

所述突出部的从所述振动板至所述基座部的尺寸为90μm以下。