[发明专利]检查方法、光学膜检查装置以及光学部件的制造方法

权利要求书

1.一种检查方法，具备：

在光学膜的检查区域照射检查光的照射工序；

检测作为由所述检查区域反射的所述检查光的反射光的检测工序；和

基于所述反射光的检测结果，判定所述光学膜的异常的有无的判定工序，

所述检查光具有明部和暗部交替地配置的条纹图案。

2.根据权利要求1所述的检查方法，其中，

所述条纹图案周期性地变化为多个图案，

在所述判定工序中，基于对应于所述多个图案的检测结果，判定所述光学膜的异常的有无。

3.根据权利要求2所述的检查方法，其中，

所述条纹图案在第1图案和第2图案之间周期性地变化，

所述第2图案中的所述明部以及所述暗部的延伸方向与所述第1图案中的所述明部以及所述暗部的延伸方向正交。

4.根据权利要求2或3所述的检查方法，其中，

所述明部以及所述暗部的至少一者的宽度周期性地变化。

5.根据权利要求1～4的任一项所述的检查方法，其中，

所述光学膜具有在第1构件层上层叠有第2构件层的层叠构造，

所述检查区域，是从所述第1构件层以及所述第2构件层的层叠方向观察、从位于相同侧的所述第1构件层的第1端部遍及至所述第2构件层的第2端部的区域，

在所述判定工序中，在基于所述反射光的检测结果计算得到的所述第1端部以及所述第2端部之间的距离不包括于给定范围的情况下，判定为异常。

6.根据权利要求1～4的任一项所述的检查方法，其中，

在所述判定工序中，基于所述反射光的检测结果，在所述检查区域检测到缺陷的情况下判定为异常。

7.根据权利要求1～6的任一项所述的检查方法，其中，

所述光学膜是长条的光学膜，

一边使用多个搬运辊在所述光学膜的长边方向上搬运所述光学膜，一边实施所述照射工序以及所述检测工序。

8.根据权利要求7所述的检查方法，其中，

在所述照射工序中，对位于所述多个搬运辊的至少一个搬运辊上的所述光学膜照射所述检查光。

9.一种光学部件的制造方法，

包括权利要求1～8的任一项所述的检查方法。

10.一种光学膜检查装置，具备：

光源部，在光学膜的检查区域照射具有明部和暗部交替地配置的条纹图案的检查光；

检测部，检测作为由所述检查区域反射的所述检查光的反射光；和

判定部，基于所述反射光的检测结果，判定所述光学膜的异常的有无。

11.根据权利要求10所述的光学膜检查装置，其中，

还具备用于搬运所述光学膜的多个搬运辊，

所述光学膜为长条的膜，

通过所述多个搬运辊而在长边方向上搬运所述光学膜，

所述光源部配置为对位于所述多个搬运辊的至少一个搬运辊上的所述光学膜照射所述检查光。