[发明专利]飞轮式二维材料生长用静态气体混合器在审
申请号: | 202011368419.4 | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN112695298A | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 于葛亮;康斯坦丁·诺沃舍洛夫;杨金东;孙正乾;唐阳;王杨华 | 申请(专利权)人: | 无锡费曼科技有限公司;无锡墨诺半导体科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良;涂三民 |
地址: | 214174 江苏省无锡市惠*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 飞轮 二维 材料 生长 静态 气体 混合器 | ||
本发明涉及一种飞轮式二维材料生长用静态气体混合器,它包括混合筒、第一风叶轮、第二风叶轮、第三风叶轮、第二挡板、出气管、第一进气管、第二进气管、下隔板、下隔板通气孔、上隔板、上隔板通气孔、台阶折板与第一挡板;第二进气管的出口偏离第一风叶轮的中心,下隔板通气孔的中心与第一风叶轮的中心呈偏心设置,第二挡板与第一挡板呈对插设置。本发明极大地提高了气体混合效果且具有结构简单、拆装方便的优点。
技术领域
本发明属于二维材料气相沉积技术领域,具体地说是一种飞轮式二维材料生长用静态气体混合器。
背景技术
目前,在二维材料气相沉积技术领域,静态混合器通过空间里面的孔状导向结构实现多种气体碰撞混合,混合效果较差。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种可以极大地提高气体混合效果且结构简单的飞轮式二维材料生长用静态气体混合器。
按照本发明提供的技术方案,所述飞轮式二维材料生长用静态气体混合器,它包括呈竖直设置混合筒,在混合筒的下段内部安装有第一风叶轮,在第一混合筒的中段内部安装有第二风叶轮,在混合筒的上段内部安装有第三风叶轮,在第一个混合筒的筒底板上固定有第一进气管,在对应第一风叶轮.位置的第一个混合筒的筒壁上固定有至少一根第二进气管,第二进气管的出口偏离第一风叶轮的中心,在筒底板与第一风叶轮之间的混合筒的筒内壁上固定有下隔板,在下隔板上开设有下隔板通气孔,下隔板通气孔的中心与第一风叶轮的中心呈偏心设置,在对应第一风叶轮与第二风叶轮之间的混合筒的筒内壁上固定有上隔板,在上隔板上开设有上隔板通气孔,在上隔板的上表面固定有台阶折板,台阶折板的上端部位于第二风叶轮的下方,台阶折板的最上一级台阶板紧靠混合筒的右侧筒内壁并与混合筒的右侧筒内壁配合形成狭长气体通道,狭长气体通道偏离第一风叶轮的中心,在对应狭长气体通道位置的台阶折板上固定有第一挡板,在对应狭长气体通道位置的混合筒的筒内壁上固定有第二挡板,第二挡板与第一挡板呈对插设置,在混合筒的筒顶板上固定有出气管。
作为优选,所述台阶折板的相邻两级台阶板呈垂直设置。进一步优选,所述台阶折板的上端部固定有向左侧弯折的导气板,导气板与台阶折板的最上一级台阶板呈钝角相连。
作为优选,在混合筒的下段外壁以及上段外壁均固定有加热器。
作为优选,在出气管的外部缠绕有加热丝。
本发明极大地提高了气体混合效果且具有结构简单、拆装方便的优点。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步说明。
一种飞轮式二维材料生长用静态气体混合器,如图1所示,它包括一个混合筒1,在混合筒1的下段内部安装有第一风叶轮11,在第一混合筒1的中段内部安装有第二风叶轮12,在混合筒1的上段内部安装有第三风叶轮13,在第一个混合筒1的筒底板上固定有第一进气管3,在对应第一风叶轮11位置的第一个混合筒1的筒壁上固定有至少一根第二进气管4,第二进气管4的出口偏离第一风叶轮11的中心,在筒底板与第一风叶轮11之间的混合筒1的筒内壁上固定有下隔板5,在下隔板5上开设有下隔板通气孔51,下隔板通气孔51的中心与第一风叶轮11的中心呈偏心设置,在对应第一风叶轮11与第二风叶轮12之间的混合筒1的筒内壁上固定有上隔板6,在上隔板6上开设有上隔板通气孔61,在上隔板6的上表面固定有台阶折板7,台阶折板7的上端部位于第二风叶轮12的下方,台阶折板7的最上一级台阶板紧靠混合筒1的右侧筒内壁并与混合筒1的右侧筒内壁配合形成狭长气体通道,狭长气体通道偏离第一风叶轮11的中心,在对应狭长气体通道位置的台阶折板7上固定有第一挡板71,在对应狭长气体通道位置的混合筒1的筒内壁上固定有第二挡板14,第二挡板14与第一挡板71呈对插设置,在混合筒1的筒顶板上固定有出气管15。
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