[发明专利]微型发光二极管在审
申请号: | 202011370050.0 | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN112531080A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 曾彦钧;林子旸;史诒君 | 申请(专利权)人: | 錼创显示科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/02;H01L33/36 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 郭化雨 |
地址: | 中国台湾苗栗*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微型 发光二极管 | ||
本申请提供一种微型发光二极管,包含第一半导体层、第一电极、第二电极以及活性层。所述第一半导体层的双侧定义有相对的第一面与第二面,第一半导体层设置有掺杂区域,掺杂区域位于第一半导体层中并露出于第一面,且掺杂区域与第一半导体层之间形成有pn接面。所述第一电极位于第一面上,用以电性连接第一半导体层。所述第二电极位于第一面上,用以电性连接掺杂区域。所述活性层邻接第二面。其中第一半导体层为第一掺杂类型,掺杂区域为第二掺杂类型,第一掺杂类型与第二掺杂类型相异,且第一半导体层与pn接面位于活性层的同侧。
技术领域
本申请是关于一种微型发光二极管,特别是关于一种微型发光二极管的半导体结构。
背景技术
请参阅图1A,图1A是传统发光二极管的结构示意图。如图1A所示,传统的发光二极管制程中,n型半导体层90、主动层91以及p型半导体层92会层叠地形成于基板93上。由于需要施加驱动电流在主动层91中,通常会在n型半导体层90以及p型半导体层92表面设置电极,才能通过打线在电极上电性连接到电源。以图1A的例子来说,由于p型半导体层92被夹在主动层91以及基板93之间没有合适的地方设置电极,为了让一部份的暴露出来,首先要对整个半导体结构进行平台(mesa)制程,例如由上方蚀刻一部份的n型半导体层90与主动层91,直到露出p型半导体层92。请参阅图1B,图1B是传统发光二极管于平台制程后的结构示意图。如图1B所示,于平台制程后,n型半导体层90、主动层91以及p型半导体层92会呈现阶梯状或L状。接着,便可以在n型半导体层90上设置电极94,并且在p型半导体层92上设置电极95。
然而,在传统的平台制程后,在蚀刻后的n型半导体层90、主动层91以及p型半导体层92的侧壁96很可能会产生寄生的漏电流,进而降低了发光二极管的发光效能。一般来说,这种因为平台制程在侧壁96引起的漏电流会称为平台侧壁效应(mesa sidewall effect),而应用于微型发光二极管时,平台侧壁效应对发光效能产生的影响程度可能更为巨大。因此,业界需要一种新的发光二极管结构以降低平台侧壁效应。
发明内容
本申请所要解决的技术问题在于提供一种微型发光二极管,所述微型发光二极管不需要进行平台制程,从而可以避免平台侧壁效应。
本申请提供一种微型发光二极管,包含第一半导体层、第一电极、第二电极以及活性层。所述第一半导体层的双侧定义有相对的第一面与第二面,第一半导体层设置有掺杂区域,掺杂区域位于第一半导体层中并露出于第一面,且掺杂区域与第一半导体层之间形成有pn接面(pn junction)。所述第一电极位于第一面上,用以电性连接第一半导体层。所述第二电极位于第一面上,用以电性连接掺杂区域。所述活性层邻接第二面。其中第一半导体层为第一掺杂类型,掺杂区域为第二掺杂类型,第一掺杂类型与第二掺杂类型相异,且第一半导体层与pn接面位于活性层的同侧。
于一些实施例中,所述微型发光二极管更可以包含第一欧姆接触层,设置于第一电极与第一面之间,第一欧姆接触层分别接触第一电极与第一半导体层。在此,第一欧姆接触层与第二电极于第一面上间隔有第一距离,第一距离可以在0.5μm到80μm之间。此外,于第一面的法线方向上,第一电极与第一欧姆接触层的投影面积比例可以小于或等于1.5。另外,第一电极具有第一厚度,第一欧姆接触层具有第二厚度,第二电极具有第三厚度,第三厚度可以为第一厚度和第二厚度的总和。
于一些实施例中,第二电极于第一面上可以覆盖掺杂区域。此外,于第一面的法线方向上,第二电极与掺杂区域的投影面积比例可以为0.5至2。另外,所述微型发光二极管更可以包含第二半导体层,活性层位于第一半导体层与第二半导体层之间。
综上所述,本申请提供的微型发光二极管将掺杂区域形成于第一半导体层中,并且使得掺杂区域露出于第一半导体层的第一面。因此,不同极性的电极可以直接设置于第一面,并分别电性连接到第一半导体层和掺杂区域。换句话说,本实施例的微型发光二极管不需要再进行平台制程,从而可以降低平台侧壁效应并改善发光效能。
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