[发明专利]液体材料气化装置

说明书

本发明提供一种液体材料气化装置。具备：容器(1)，在内部贮存有液体材料(M)；加热器(2)，对所述容器(1)内的液体材料(M)进行加热；多个液面检测体(3)，在所述容器(1)内液面检测点(P)分别以设定高度为基准配置在规定的高度范围内；基准检测体(4)，在所述容器(1)内设置在比多个所述液面检测体(3)的规定的高度范围靠上侧的位置；以及液面判定器(5)，根据基于所述基准检测体(4)的电阻的变化而设定的阈值以及多个液面检测体(3)的电阻的变化，判定所述设定高度处的液体材料的有无。

技术领域

本发明涉及用于使液体材料气化的液体材料气化装置。

背景技术

例如在半导体制造工艺中，对腔室供给使液体材料气化而成的材料气体。如专利文献1所示，生成材料气体的液体材料气化装置具备在内部贮存液体材料的容器和以覆盖容器的外侧的方式设置的加热器，构成为对容器内的液体材料进行加热而使其气化，并导出到容器内。

在这样的液体材料气化装置中，为了弥补因液体材料气化而导致的液体材料的减少，适当地将液体材料补充到容器内。进而，为了防止由于补充而使容器内的液体材料的量变得过剩、液体材料不气化而保持液体状态不变地对腔室供给，需要将容器内的液体材料的液位保持到上限液位。

因此，在容器内设置有检测上限液位处的液体材料的有无的由铂等形成的液面检测体。对该液面检测体施加例如恒定电压，监视从液面检测体输出的电流。在液面检测体处于液体材料内的情况下，与处于气相内的情况相比，散热量变大，温度降低。其结果是，液面检测体的电阻变小，输出的电流变大。因而，能够基于监测到的电流的大小来检测液体材料的有无。

但是，在上述液面检测方法中，在液体材料产生沸腾时，液体材料挑起而附着于液面检测体，尽管实际上在上限液位没有液体材料，但有可能误判定为有液体材料。此外，由于容器内的压力变化、温度变化的影响，来自液面检测体的输出也受到影响而有可能发生误判定。

专利文献1：日本专利6212467号公报

发明内容

本发明是鉴于上述那样的问题而完成的，其目的在于提供一种液体材料气化装置，即使例如在液体材料产生沸腾现象或者周围的环境条件大幅变化，也难以在液面检测中产生误判定。

即，本发明的液体材料气化装置的特征在于，具备：容器，在内部贮存有液体材料；加热器，对所述容器内的液体材料进行加热；多个液面检测体，在所述容器内液面检测点分别以设定高度为基准配置在规定的高度范围内；基准检测体，在所述容器内设置在比所述规定的高度范围靠上侧的位置；以及液面判定器，根据基于所述基准检测体的电阻的变化而设定的阈值以及多个液面检测体的电阻的变化，判定所述设定高度处的液体材料的有无。

如果是这样的结构，则由于所述基准检测体设置在比所述规定的高度范围靠上侧的位置，因此，即使在液体材料的液位比各液面检测点低的状态下在液体材料中产生沸腾而引起飞溅、液体材料附着于所述液面检测体中的任一个，也能够使液体材料不附着于所述基准检测体。因而，在所述容器内，基准检测体能够保持仅暴露于液体材料气化而成的材料气体的状态，因此所述基准检测体的电阻能够仅受到所述容器内的温度、压力的影响。因此，基于所述基准检测体的电阻的变化而设定的阈值能够仅反映所述容器内的材料气体的温度、压力的变化。此外，所述液面判定器基于反映了所述容器内的压力、温度的阈值来判定液面检测点处的液体材料的有无，因此与以往相比能够难以产生误判定。

进而，所述液面判定器基于多个所述液面检测体的电阻的变化来判定液面检测点处的液体材料的有无，因此，例如仅在基于各液面检测体的判定结果被判定为在液面检测点存在液体材料的情况下，判定为判定结果正确，由此也能够防止因飞溅而引起的误判定。