[发明专利]一种高纯氮源制备方法

权利要求书

1.一种高纯氮源制备方法，包括步骤一，原料准备；步骤二，液态脱氧；步骤三，杂质处理；步骤四，氮源除尘；步骤五，存储放置；其特征在于：

其中在上述步骤一中，原料准备包括以下步骤：

1)人工根据国外超高纯氮指标选取高纯氮原料气，并将高纯氮原料气存放在低温气罐内部；

2)检测高纯氮原料气，过滤杂质，并将其震荡，随后静置存储；其中在上述步骤二中，液态脱氧包括以下步骤：

1)人工准备吸附器，并将吸附器兑入吸附剂，并将吸附剂进行冷却，随后静置存储备用；

2)将步骤一2)中高纯氮原料气通入吸附器内部，震荡10-20min，使得高纯氮原料气内部氧与氩吸附，随后倒出吸附后的高纯氮原料气；其中在上述步骤三中，杂质处理包括以下步骤：

1)人工将步骤二2)中吸附后的高纯氮原料气兑入脱氢剂，随后静置10-20min，导出高纯氮原料气；

2)再将脱氢后的高纯氮原料气通入分子筛进行过滤，随后导入硅胶吸附剂，除去杂质；

其中在上述步骤四中，氮源除尘包括以下步骤：

1)人工准备气体过滤器，将步骤三2)中去除杂质后的高纯氮原料气通入气体过滤器；

2)将气体过滤器内部插入过滤膜，使高纯氮原料气通过过滤膜，完成过滤除尘，即可得到高纯氮源；

其中在上述步骤五中，存储放置包括以下步骤：

1)人工将步骤四2)中得到高纯氮源通过微氧仪与气相色谱仪进行检测，并分析高纯氮源碳氢化合物与金属离子，合格后存储备用；

2)将合格的高纯氮源存储在金属容器内部，将其存放在冷藏室中。

2.根据权利要求1所述的一种高纯氮源制备方法，其特征在于：所述步骤一1)中低温气罐使用前需要进行清洗。

3.根据权利要求1所述的一种高纯氮源制备方法，其特征在于：所述步骤二1)中吸附剂为沸石原料。

4.根据权利要求1所述的一种高纯氮源制备方法，其特征在于：所述步骤三1)中脱氢剂为活性氧化铜。

5.根据权利要求1所述的一种高纯氮源制备方法，其特征在于：所述步骤四2)中过滤膜为聚乙烯制成。

6.根据权利要求1所述的一种高纯氮源制备方法，其特征在于：所述步骤五1)中不合格的高纯氮源重新加工。