[发明专利]电子封装用金刚石/铜热沉材料及其制备方法有效
申请号: | 202011373358.0 | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN112609115B | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 柳旭;付晓玄;史秀梅;黄小凯;陈晓宇;祁宇;王峰 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属与稀土应用研究所 |
主分类号: | C22C26/00 | 分类号: | C22C26/00;C22C9/00;C22C1/05;C22C1/10;B22F1/12;B22F9/04;B22F3/105;B22F3/02 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘徐红 |
地址: | 100012 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 封装 金刚石 铜热沉 材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种电子封装用金刚石/铜热沉材料,其特征在于:该热沉材料由改性金刚石、铜和添加元素组成,所述的添加元素为铟锡,按照质量百分比计,改性金刚石的含量为30%-60%,余量为铜和添加元素,其中,添加元素的含量为铜含量的5%-10%;所述的改性金刚石为镀铬、钼、钨或钛的金刚石颗粒,镀层厚度为1~3μm;
该材料的制备方法,包括以下步骤:
(1)粉末混合:将重量百分比为30%-60%的改性金刚石颗粒,70%-40%的铜粉和添加元素粉末混合,其中添加元素粉末含量为铜粉含量的5-10%,所述的添加元素粉末为铟锡粉,然后在行星式球磨机中进行球磨处理,得到混合粉末;
(2)调膏:使用酒精将步骤(1)中制得的混合粉末调为膏状,酒精与原料混合粉末的体积比为1:4至1:6;
(3)烧结:将步骤(2)中制得的混合膏装入放电等离子模具中加压预成型,然后放入烧结炉中,抽真空,在一定压力下升温烧结,升温速率为100℃/min,烧结温度为700~750℃,保温时间为10~15min,压力为30~50Mpa,最后随炉冷却至室温,得到金刚石/铜热沉材料。
2.一种电子封装用金刚石/铜热沉材料的制备方法,包括以下步骤:
(1)粉末混合:将重量百分比为30%-60%的改性金刚石颗粒,70%-40%的铜粉和添加元素粉末混合,其中添加元素粉末含量为铜粉含量的5-10%,所述的添加元素粉末为铟锡粉,然后在行星式球磨机中进行球磨处理,得到混合粉末;
(2)调膏:使用酒精将步骤(1)中制得的混合粉末调为膏状,酒精与原料混合粉末的体积比为1:4至1:6;
(3)烧结:将步骤(2)中制得的混合膏装入放电等离子模具中加压预成型,然后放入烧结炉中,抽真空,在一定压力下升温烧结,升温速率为100℃/min,烧结温度为700~750℃,保温时间为10~15min,压力为30~50Mpa,最后随炉冷却至室温,得到金刚石/铜热沉材料。
3.根据权利要求2所述的电子封装用金刚石/铜热沉材料的制备方法,其特征在于:所述的改性金刚石的颗粒尺寸为100-200μm,铜粉的晶粒尺寸为50-100μm,铟锡粉的晶粒尺寸为10-50μm。
4.根据权利要求3所述的电子封装用金刚石/铜热沉材料的制备方法,其特征在于:所述的铜粉及铟锡粉的纯度≥99.99wt%。
5.根据权利要求2所述的电子封装用金刚石/铜热沉材料的制备方法,其特征在于:所述行星式球磨机的球磨速度为300~500r/min,研磨时间为2~3小时。
6.根据权利要求2所述的电子封装用金刚石/铜热沉材料的制备方法,其特征在于:所述预成型的压力为0-20Mpa。
7.根据权利要求2所述的电子封装用金刚石/铜热沉材料的制备方法,其特征在于:抽真空后,真空度为1.0~5.0 pa。
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