[发明专利]一种在线式石墨舟形变检测系统及形变检测方法

权利要求书

1.一种在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，包括：石墨舟输送模块、激光测量模块、分析处理模块和控制模块；所述控制模块和所述分析处理模块均设于工控机上，所述控制模块与所述激光测量模块通信连接，所述控制模块用于触发所述激光测量模块的启动；所述石墨舟输送模块安装于PECVD机台和自动上下片机台间，用于输送石墨舟；所述激光测量模块安装于PECVD机台和自动上下片机台间的任意位置，用于实时对运动中的石墨舟进行测量，并将测量数据上传于分析处理模块；所述分析处理模块对测量数据进行计算分析，并得出石墨舟是否形变的检测结果。

2.根据权利要求1所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，所述石墨舟输送模块包括：托盘、传送皮带和驱动装置，石墨舟装载于所述托盘上，所述托盘置于所述传送皮带上，驱动装置驱动所述传送皮带运转；所述托盘的前后端均设有凸起的卡位，所述石墨舟前后端均设有底座，所述底座对应所述卡位设有两定位部，所述石墨舟装载于所述托盘上时，所述卡位卡设于两定位部间。

3.根据权利要求1所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，所述激光测量模块包括：两安装支架和设于两安装支架上的若干位移传感器，两安装支架面对面设于所述传送皮带的两相对的外侧，两安装支架间的距离大于所述石墨舟的宽度，两安装支架上同一水平高度的两位移传感器配对设置。

4.根据权利要求3所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，每一安装支架上均设有两对位移传感器，每一位移传感器均可上下、左右调节地安装于安装支架上；两对位移传感器分别对应石墨舟的上部和下部位置安装于安装支架上。

5.根据权利要求1-4任一项所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，还包括若干触发式传感器，所述若干触发式传感器分别设于PECVD机台和自动上下片机台上，所述若干触发式传感器与上下片机台PLC通信连接，所述触发式传感器用于检测到石墨舟，并发送信号至上下片机台PLC。

6.根据权利要求1所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，所述分析处理模块包括：DLL动态链接库、实时数据库、分析单元和显示单元；所述DLL动态链接库与所述激光测量模块实时通讯，确保测量数据实时读取；所述实时数据库用于同时保存激光测量模块的多个测量数据；所述分析单元用于对测量数据进行计算分析，得出石墨舟的检测结果；所述显示单元用于显示对石墨舟测量数据的变化趋势。

7.一种采用权利要求1-6任一项所述的在线式石墨舟形变检测系统的形变检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、石墨舟进入检测区域时，激光测量模块启动；

步骤2、石墨舟经过激光测量模块过程中，位移传感器不间断对石墨舟进行测量，测量数据通过DLL动态链接库并行存入实时数据库中；

步骤3、分析处理模块通过数据拼接算法进行数据处理，计算出石墨舟上部、下部中各个部位的宽度；

步骤4、分析处理模块根据步骤3中的数据信息计算出石墨舟的形变误差数据，给出石墨舟是否发生形变的判断结果；

步骤5、检测系统恢复到步骤1的状态，等待新的石墨舟进入该检测系统。

8.根据权利要求7所述的形变检测方法，其特征在于，所述步骤1还包括：一触发式传感器检测到石墨舟的进入，发出信号给上下片机台PLC，上下片机台PLC根据该信号与控制模块进行通信，控制模块控制激光测量模块启动测量。

9.根据权利要求7所述的形变检测方法，其特征在于，所述步骤3还包括对陶瓷杆长度、石墨螺母距离数据的计算。

10.根据权利要求7所述的形变检测方法，其特征在于，所述步骤4还包括：将测试结果通过趋势图的形式显示于显示单元上，并将该形变误差数据告知上下片机台PLC，上下片机台PLC给出是否需要人工取出石墨舟的提示。