[发明专利]一种在线式石墨舟偏移的补偿装置及补偿方法

说明书

本发明公开一种在线式石墨舟偏移的补偿装置及补偿方法，该补偿装置包括：激光测量模块、补偿模块和控制模块，所述控制模块分别与激光测量模块和补偿模块通信连接；所述激光测量模块实时测量石墨舟上舟槽的实际位置，并将该位置信息发送至控制模块；控制模块根据舟槽的实际位置信息和预存的舟槽的校准位置信息计算出石墨舟舟槽的偏移数据，并将该偏移数据发送至补偿模块；所述补偿模块根据该偏移数据确定装卸片机器人对每一舟槽的准确装卸片位置，并控制装卸片机器人运行至该位置进行装卸片操作。本发明有效解决了现有技术中无法对石墨舟舟槽的偏移进行实时监控，而造成石墨舟偏移后，装卸片机器人无法准确将硅片进行装卸的情况发生。

技术领域

本发明涉及石墨舟的偏移检测及补偿技术领域，尤其涉及一种在线式石墨舟偏移的补偿装置及补偿方法。

背景技术

随着光伏发电成本的不断降低，太阳能发电将具有更加广阔的市场空间。而石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率。石墨舟自动上下片机将未镀膜的硅片通过机器人吸盘放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片。放置完全部的硅片后，石墨舟通过皮带线带动进入PECVD镀膜机。石墨舟上的硅片在PECVD镀膜机内部进行高温条件下的特定化学反应，实现硅片表面的镀膜工序。完成硅片镀膜后的石墨舟从PECVD里退出，然后再通过皮带线运输到自动上下片机，自动上下片机台的装卸片机器人把镀膜完成的成品硅片从石墨舟里卸取出来。卸取完成品硅片后，装卸片机器人再次将未镀膜的原始硅片放入石墨舟中，依次重复上述的过程。

由于生产过程中机台震动、PECVD机器人搬运石墨舟、反复高低温、高压放电等因素的影响，都会造成石墨舟陶瓷套和陶瓷杆松动、陶瓷杆断裂等情况，进而导致石墨舟出现左右大小不一致、上下错位、舟片不平行等异常情况。此外由于机械夹具破损或者震动等其他原因，也会导致石墨舟治具夹持不紧或者整体位置出现偏移，跟原始的校准位置就有了偏差；而装卸片机器人如果仍按照原始的校准位置进行取放硅片，就会出现装卸片机器人放置硅片过程中，硅片无法准确放置于石墨舟舟槽的卡点上，进而导致硅片掉落损坏，增加了硅片的碎片率；同时更严重的情况是，如果硅片并没有完全掉落，而是搭在舟槽内部，跟其对面的硅片或者对面石墨舟片相接触，在石墨舟进入PECVD后，还会导致石墨舟高频，此时石墨舟必须从PECVD里退出，人为处理掉搭接的硅片，石墨舟再重新进入PECVD。这种情况严重降低了整体机台的产能，造成了极大的资源浪费。

故亟需开发一种快速、可重复、智能化的石墨舟偏移的补偿装置及补偿方法，以实时对偏移的石墨舟位置进行定位，并控制装卸片机器人运行至准确位置进行装卸片操作。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种在线式石墨舟偏移的补偿装置及补偿方法，以解决现有技术中石墨舟偏移而无法实时监控，导致装卸片机器人无法准确将硅片放入舟槽中，而碎片率增加、产能降低的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：本发明提供一种在线式石墨舟偏移的补偿装置，包括：激光测量模块、控制模块和补偿模块，所述控制模块分别与激光测量模块和补偿模块通信连接；所述激光测量模块实时测量石墨舟上舟槽的实际位置，并将该位置信息发送至控制模块；控制模块根据舟槽的实际位置信息和预存的舟槽的校准位置信息计算出石墨舟舟槽的偏移数据，并将该偏移数据发送至补偿模块；所述补偿模块根据该偏移数据确定装卸片机器人对每一舟槽的准确装卸片位置，并控制装卸片机器人运行至该位置进行装卸片操作。

进一步地，所述激光测量模块包括：多个安装支架和设于每一安装支架上的若干激光位移传感器，多个安装支架均设于石墨舟输送轨道的同一侧；每一安装支架对应石墨舟的一个舟槽设置。

进一步地，所述激光测量模块还包括一固定座，所述固定座固定于石墨舟输送轨道的一侧，并对应石墨舟的长度设置，多个安装支架可活动地安装于所述固定座上。

进一步地，每一安装支架上设有两个激光位移传感器，两激光位移传感器分别对应石墨舟的上部和下部进行测量。