[发明专利]一种纳米银浆薄膜射频装置在审

专利信息
申请号: 202011383028.X 申请日: 2020-12-01
公开(公告)号: CN112466564A 公开(公告)日: 2021-03-09
发明(设计)人: 刘盼盼 申请(专利权)人: 苏州柏特瑞新材料有限公司
主分类号: H01B13/00 分类号: H01B13/00;H01B1/22;B82Y40/00
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 沈留兴
地址: 215023 江苏省苏州市苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 纳米 薄膜 射频 装置
【权利要求书】:

1.一种纳米银浆薄膜射频装置,包括射频箱(1),其特征在于:所述射频箱(1)的内部从上至下依次开设有安装槽(2)、真空室(3),所述安装槽(2)的内部嵌入安装有射频发生器(4),所述射频发生器(4)的一侧安装有高频电源线(11),所述射频发生器(4)和安装槽(2)之间嵌入设置有海绵层(10),所述射频箱(1)的基面靠近真空室(3)处安装有磁吸箱门(14),所述磁吸箱门(14)的基面顶端中心处固定安装有把手(15),所述射频箱(1)的一侧靠近真空室(3)处贯通安装有抽真空管(12),所述真空室(3)的内部从上至下依次设置有固定夹具(7)、固定座(6),所述固定夹具(7)和射频箱(1)通过液压伸缩杆(9)固定安装,所述固定夹具(7)顶部中心处嵌入设置有射频头(5),且射频头(5)底端和固定夹具(7)底面水平统一,所述射频头(5)和射频发生器(4)通过脉冲导线(18)线性连接,所述射频头(5)顶端套设有安装套环(17),所述安装套环(17)和固定夹具(7)通过固定架(16)固定安装,所述固定座(6)的顶面铺设有纳米银浆薄膜(8),所述固定座(6)的底部四角处均固定安装有支撑脚架(13)。

2.根据权利要求1所述的一种纳米银浆薄膜射频装置,其特征在于:所述高频电源线(11)的外部线性连接有高频电源。

3.根据权利要求1所述的一种纳米银浆薄膜射频装置,其特征在于:所述抽真空管(12)远离射频箱(1)的一侧贯通连接有真空泵。

4.根据权利要求1所述的一种纳米银浆薄膜射频装置,其特征在于:所述固定座(6)、固定夹具(7)和安装套环(17)均采用绝缘塑料定制而成,且固定架(16)和安装套环(17)、固定夹具(7)均熔接。

5.根据权利要求1所述的一种纳米银浆薄膜射频装置,其特征在于:所述磁吸箱门(14)和射频箱(1)通过合页固定连接,且磁吸箱门(14)靠近射频箱(1)的一侧四周沿口处均嵌入安装有磁条,同时磁吸箱门(14)上中心处设置有观察窗。

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