[发明专利]压力测试治具及压力测试装置

说明书

本申请涉及压力测量技术领域，公开了一种压力测试治具及压力测试装置，通过第一安装轴将压力测试治具连接于压力测试装置的测试头上，调节件调节活动板与所述固定板之间的距离，使活动板推着压力传感器缓慢靠近测试头，在压力传感器刚接触到测试头时归零位移传感器。继续调节活动板，待位移传感器读数显示所需要的行程时,停止旋转，此刻测试头上的气囊压缩设定值，记录此刻压力传感仪器的读数。测量时能看到压力气囊压缩的行程，确保测试头的气囊触底，因此测量出来的压力较为精确。

技术领域

本发明一般涉及压力测量技术领域，具体涉及一种压力测试治具及压力测试装置。

背景技术

目前，在半导体后道测试工艺时，机器提供给芯片的测试压力是十分重要的一个参数，但目前的治具测量芯片测试压力存在以下几点不足：产品尺寸不同，测量压力时需要更换压力测试治具部件；在测试压力时，无法看到机器气囊下压的行程，无法确保机器气囊是否已经触底；比较繁重，需要配合电脑一起使用,测试花费较长的时间。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种压力测试治具及压力测试装置。

第一方面，本发明提供一种压力测试治具，包括：固定板，所述固定板上穿过多个第一安装轴；活动板，所述活动板与所述固定板间隔设置，所述活动板处于所述多个第一安装轴围成的区域内侧；调节件，所述调节件穿过所述固定板连接至所述活动板，用于调节所述活动板与所述固定板之间的距离；压力传感器，所述压力传感器安装于所述活动板远离所述固定板的一侧；位移传感器，所述位移传感器安装于所述固定板上，所述位移传感器的探测端与所述活动板连接。

在一个实施例中，所述调节件包括微型丝杆，所述微型丝杆穿过所述固定板与所述活动板连接，所述微型丝杆与所述固定板螺纹连接，所述微型丝杆与所述活动板转动止脱配合。

在一个实施例中，所述固定板上设有螺母，所述固定板通过所述螺母与所述微型丝杆螺纹连接。

在一个实施例中，压力测试治具还包括多个第二安装轴，所述固定板上设有多个条形孔，所述多个第二安装轴穿过所述多个条形孔。

在一个实施例中，压力测试治具还包括导向轴和导向轴套，所述导向轴连接所述固定板上且穿过所述活动板，所述活动板被所述导向轴穿过的位置设有导向轴套。

在一个实施例中，所述导向轴穿出所述活动板的部分上套设有复位弹簧。

在一个实施例中，所述第一安装轴包括四根第一安装轴，四根所述第一安装轴分别穿过所述固定板和所述活动板的四角；所述第二安装轴包括四根第二安装轴，四根所述第二安装轴分别设于四根所述第一安装轴围成的区域内侧；所述导向轴包括四根导向轴，四根所述导向轴分别设于四根所述第二安装轴围成的区域内侧。

在一个实施例中，所述压力传感器远离所述活动板的一侧设有缓冲结构。

在一个实施例中，所述固定板上设有缺口，所述位移传感器安装于所述缺口处。

第二方面，本发明提供一种压力测试装置，包括测试头和第一方面所描述的压力测试治具。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明提供一种压力测试治具及压力测试装置，通过第一安装轴将压力测试治具连接于压力测试装置上，调节件调节活动板与所述固定板之间的距离，使活动板推着压力传感器缓慢靠近测试头，在压力传感器刚接触到测试头时归零位移传感器。继续调节活动板，待位移传感器读数显示所需要的行程时,停止旋转，此刻测试头上的气囊压缩设定值，记录此刻压力传感仪器的读数。测量时能看到压力气囊压缩的行程，确保测试头的气囊触底，因此测量出来的压力较为精确。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：