[发明专利]真空电子器件内部真空度检测方法

权利要求书

1.一种真空电子器件内部真空度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：根据真空电子器件的电子枪的结构确定真空电子器件的加电方式和加电参数；

S2：将真空电子器件的标准样管与离子流测量系统连接；

S3：将所述标准样管进行抽真空，使所述标准样管内达到需要对标的真空度；

S4：按照步骤S1中确定的加电方式和加电参数对所述标准样管的电极施加电压，通过所述离子流测量系统测量所述标准样管在所对标的真空度下的阳极离子流；

S5：重复步骤S3和S4，测试不同的对标真空度下的离子流，完成离子流与真空度对应关系的标定工作，得到离子流-真空度标定表或离子流-真空度量化模型；

S6：将真空电子器件的待测样管与所述离子流测量系统连接；

S7：对所述待测样管的电极施加与步骤S4中相同的电压，通过所述离子流测量系统测量所述待测样管的阳极离子流；

S8：对照所述离子流-真空度标定表或将所测量的阳极离子流代入所述离子流-真空度量化模型，获得所述待测样管的真空度,

在所述步骤S5中，当所述标准样管内的真空度达到规定的真空度时，结束离子流与真空度对应关系标定工作，所述规定的真空度为1.33×10^-7Pa，

所述步骤S1中确定真空电子器件的加电方式包括：

利用电子轨迹仿真软件对所述标准样管的电子枪结构进行建模；

分别仿真不同加电方式下电子枪发射出电子的轨迹分布图，选择电子轨迹路径较长且电子轨迹发散的加电方式，

所述加电方式选择正栅加电方式，所述步骤S1中确定真空电子器件的加电参数包括：

选择能够使阴极发射电流满足离子流检测精度的最小栅极电压；

根据所选择的栅极电压，采用所述电子束轨迹仿真软件，分别仿真施加不同阳极离子收集电压下的电子轨迹分布结果，选择能够满足离子流检测精度的阳极离子收集电压。

2.根据权利要求1所述的真空电子器件内部真空度检测方法，其特征在于，在所述步骤S3之前还包括：按照相关的排气规范对所述标准样管进行排气和阴极烘烤处理。

3.根据权利要求1所述的真空电子器件内部真空度检测方法，其特征在于，在所述步骤S5中，通过对所述离子流-真空度标定表进行数据拟合，获得所述离子流-真空度量化模型。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的真空电子器件内部真空度检测方法，其特征在于，所述步骤S7还包括：对所述待测样管的阴极进行预热处理，获得稳定的阴极发射电流。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的真空电子器件内部真空度检测方法，其特征在于，在所述步骤S7中，对所述待测样管的栅极施加相对阴极的正电压，对所述待测样管的阳极施加相对阴极的负电压。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的真空电子器件内部真空度检测方法，其特征在于，所述离子流测量系统由四位半以上的皮安表构成。