[发明专利]超薄片固定装置及方法

说明书

本发明涉及超薄片固定技术领域，尤其涉及一种超薄片固定装置及方法。该超薄片固定装置包括固定底座和定位基板，所述固定底座的上表面设有与所述定位基板的形状相适配的定位槽，所述定位基板安装于所述定位槽的内部；所述定位基板的上表面为设有用于固定超薄片的液膜。本发明结构简单，操作方便，能够依靠液膜的表面张力将超薄片固定在定位基板上，从而有效解决了超薄片在切割和镀膜过程中极易弯曲变形的问题，确保了超薄片在加工过程中的平面度和平整度。

技术领域

本发明涉及超薄片固定技术领域，尤其涉及一种超薄片固定装置及方法。

背景技术

目前，对于厚度小于0.2mm的超薄石英玻璃片，当尺寸(直径或长宽)大于100mm时，便会表现出一定的挠性，即受力成弯曲面。当对超薄片进行激光切割加工时，需要保证固定情况下，现有技术一般采用机械夹持、机械牵拉、胶粘、负压吸附等固定方式。

由于超薄石英玻璃片的厚度可以薄至几十微米，当进行激光切割时，现有技术的固定方式存在如下缺陷：1、如果采用机械夹持固定的方式，极易造成玻璃片弯曲变形，导致激光焦点不能完全落在玻璃片表面，从而造成切割不完全；2、如果采用机械牵拉固定的方式，容易造成玻璃片受力不均引起破碎，对机械牵拉固定装置的调节精度要求高；3、如果采用胶粘固定的方式，切割后表面清洗难度增加，并且拆卸时破损率较高；4、如果采用负压吸附固定的方式，则容易随着激光切割过程中的吹气而失效。

发明内容

本发明提供一种超薄片固定装置，能够有效解决超薄片切割和镀膜过程中极易弯曲变形的问题。

本发明提供一种超薄片固定装置，包括固定底座和定位基板，所述固定底座的上表面设有与所述定位基板的形状相适配的定位槽，所述定位基板安装于所述定位槽的内部；所述定位基板的上表面为设有用于固定超薄片的液膜。

根据本发明提供的一种超薄片固定装置，所述定位基板的上表面为抛光平面；所述定位基板的下表面为抛光平面。

根据本发明提供的一种超薄片固定装置，所述液膜采用去离子水和乙醇的混合液制成；或所述液膜采用去离子水和甲醇的混合液制成；或所述液膜采用去离子水和异丙醇的混合液制成。

根据本发明提供的一种超薄片固定装置，所述液膜的表面张力为22mN/m～73mN/m。

根据本发明提供的一种超薄片固定装置，所述定位基板为矩形板；所述定位槽为与所述定位基板的形状相适配的矩形凹槽，所述矩形凹槽的底面为抛光平面。

根据本发明提供的一种超薄片固定装置，在所述矩形凹槽的四个侧壁上分别设有注液孔，各所述注液孔分别沿水平方向延伸设置；各所述注液孔的一端分别与所述定位槽相连通，各所述注液孔的另一端分别贯穿所述固定底座的外侧壁。

根据本发明提供的一种超薄片固定装置，所述注液孔相对于所述定位槽的底面的设置高度大于所述定位基板与所述液膜的厚度之和。

根据本发明提供的一种超薄片固定装置，还包括三轴位移调节平台，所述固定底座安装在所述三轴位移调节平台上。

根据本发明提供的一种超薄片固定装置，所述定位基板的厚度为1mm～20mm；所述液膜的厚度为50nm～200nm。

本发明还提出一种超薄片固定方法，采用上述的超薄片固定装置，具体包括如下步骤：

将定位基板装入固定底座的定位槽中；

配置出表面张力为22mN/m～73mN/m的混合液；其中所述混合液采用去离子水和乙醇混合而成，或所述混合液采用去离子水和甲醇混合而成，或所述混合液采用去离子水和异丙醇混合而成；

将预定量的所述混合液滴在所述定位基板的上表面形成液滴；