[发明专利]一种材料出气率测试装置及方法

权利要求书

1.一种材料出气率测试装置，其特征在于，包括样品室(1)、对照室(3)、对称盲板法兰(2)、连接管路(6)、上测试室(12)、下测试室(16)、小孔流导法兰(15)，分子泵机组(9)、溅射离子泵(18)、上室分离规(13)、下室分离规(17)和全量程真空规(8)，

所述样品室(1)与所述对照室(3)通过所述对称盲板法兰(2)连接在一起；

所述小孔流导法兰(15)中部开设有流导孔(C)，所述上测试室(12)与所述下测试室(16)通过所述小孔流导法兰(15)连接在一起；

所述连接管路(6)包括主管道、样品室支管、对照室支管、上测试室支管、下测试室支管和分子泵机组支管，所述样品室支管和所述对照室支管的进气端分别连通于所述样品室(1)与所述对照室(3)，所述上测试室支管和所述下测试室支管的出气端分别连通于所述上测试室(12)与所述下测试室(16)，所述样品室支管和所述对照室支管的出气端汇合至所述主管道的进气端，所述主管道的出气端分出两路分别与所述上测试室支管和所述下测试室支管的进气端相连通；

所述分子泵机组(9)与所述主管道的中部通过所述分子泵机组支管连通；

所述溅射离子泵(18)与所述下测试室(16)相连通；

所述上室分离规(13)和所述下室分离规(17)分别设置于所述上测试室(12)与所述下测试室(16)；

所述样品室支管和所述对照室支管上分别设置有上样品室角阀(4)和对照室角阀(5)，所述上测试室支管和所述下测试室支管上分别设置有上测试室角阀(10)和下测试室角阀(11)，所述分子泵机组支管上设置有分子泵口角阀(7)；

其中，所述样品室(1)和所述对照室(3)完全相同，样品室(1)用于放置实验样品，对照室(3)作为不放置样品的对照组；

所述分子泵机组(9)用于烘烤前及烘烤过程中对装置抽气；

所述溅射离子泵(18)用于烘烤过程中以及烘烤结束后对装置抽气；

所述上室分离规(13)和所述下室分离规(17)分别用于检测述上测试室(12)与所述下测试室(16)的真空度；

所述全量程真空规(8)用于检测分子泵机组支管的真空度。

2.如权利要求1所述的材料出气率测试装置，其特征在于，

所述上室分离规(13)和所述下室分离规(17)的真空度的检测范围为2×10^-10Pa～1×10^-4Pa；

所述分子泵机组(9)由8L·s^-1的干式机械泵和600L·s^-1的涡轮分子泵组成；

所述溅射离子泵(18)的气体抽速为400L·s^-1。

3.如权利要求1所述的材料出气率测试装置，其特征在于，

所述上样品室角阀(4)、所述对照室角阀(5)、所述分子泵口角阀(7)、所述上测试室角阀(10)和所述下测试室角阀(11)均为全金属材质阀门。