[发明专利]一种微流控芯片膜类键合后气密性检测装置及方法在审
| 申请号： | 202011390529.0 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112504564A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 张仓明 | 申请（专利权）人： | 苏州万贵源精密科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02;B65G47/90 |
| 代理公司： | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人： | 陈长益 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴江经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微流控 芯片 膜类键合后 气密性 检测 装置 方法 | ||
1.一种微流控芯片膜类键合后气密性检测装置及方法，包括上料吸盘(1)、上料气缸(2)、无杆气缸(3)、检测组件(4)以及下料组件(5)，其特征在于：所述上料吸盘(1)设于上料气缸(2)侧面，上料气缸(2)与上料吸盘(1)活动连接，且上料气缸(2)与无杆气缸(3)活动连接，所述检测组件(4)设于无杆气缸(3)正面，检测组件(4)与无杆气缸(3)固定连接，且检测组件(4)与上料吸盘(1)活动连接，所述下料组件(5)设于检测组件(4)正面，下料组件(5)与检测组件(4)活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种微流控芯片膜类键合后气密性检测装置及方法，其特征在于：所述检测组件(4)包括检测平台(6)、驱动装置(8)以及支架(9)，驱动装置(8)设于支架(9)上表面所开设通孔内，且驱动装置(8)与支架(9)固定连接，检测平台(6)设于支架(9)侧面，检测平台(6)与支架(9)互不连接。
3.根据权利要求2所述的一种微流控芯片膜类键合后气密性检测装置及方法，其特征在于：所述驱动装置(8)底部设有压头(7)，压头(7)与驱动装置(8)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种微流控芯片膜类键合后气密性检测装置及方法，其特征在于：所述压头(7)上表面所开设通孔内气体通道(10)，气体通道(10)与压头(7)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种微流控芯片膜类键合后气密性检测装置及方法，其特征在于：所述下料组件(5)包括高精度线性模组(11)、下料平台(13)以及下料气缸(14)，高精度线性模组(11)与下料气缸(14)固定连接，且下料气缸(14)侧面设有下料吸盘(12)，下料平台(13)与下料气缸(14)活动连接。
6.根据权利要求5所述的一种微流控芯片膜类键合后气密性检测装置及方法，其特征在于：所述下料吸盘(12)底部设有下料平台(13)，下料平台(13)与下料吸盘(12)活动连接。
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