[发明专利]晶圆探针台自定义测试路径实现方法

权利要求书

1.一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件；

S2、将测试模式载入所述测试路径编辑文件，在所述测试路径编辑文件中编辑测试路径；

S3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入所述测试路径生成软件，生成所述晶圆探针台识别的测试路径文件。

2.如权利要求1所述的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，所述测试路径编辑文件为excel文件，在所述excel文件中编辑所述测试路径。

3.如权利要求2所述的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，在步骤S1之后，还包括如下步骤：

S110、在所述excel文件的sheet表中读取所述model属性图文件中的坐标范围；

S120、根据该坐标范围创建所述sheet表的坐标轴；

S130、读取所述model属性图文件中各坐标位置的属性，将其写入所述sheet表。

4.如权利要求3所述的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，步骤S2具体包括如下步骤：

S210、将所述测试模式载入所述sheet表；

S220、根据所述测试模式双击所述sheet表中的单元格，生成与所述单元格坐标对应的坐标值。

5.如权利要求4所述的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，所述S3具体包括如下步骤：

S310、在所述测试路径生成软件中，遍历所述sheet表中每个单元格的坐标，并对坐标值进行排序，生成测试路径数组；

S320、将所述测试路径数组写入所述测试路径文件。

6.如权利要求5所述的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，所述测试路径文件为map图文件。