[发明专利]一种MEMS倾角仪标定补偿方法

权利要求书

1.一种MEMS倾角仪的标定补偿方法，其特征在于步骤如下：

1.将MEMS倾角仪通过标定工装安装在转台上，确保MEMS倾角仪与转台轴向保持一致，并符合MEMS倾角仪安装误差的要求；

2.将MEMS倾角仪开机预热，并将转台上电，控制转台各轴向调至零位，将转台与MEMS倾角仪待标定轴对应轴向的控制模式设置为角位置模式；

3.控制相应转台轴向以0.05°的步长从-90°转至+90°，每一个角位置处静止保持5秒，在[-90°～+90°]的范围内，记录MEMS倾角仪输出加速度值A_x和A_y及对应的与各个转台角位置点的数值；

4.由于倾角满足θ＝arcsin(A_x/g)，针对MEMS倾角仪输出的A_x与转台对应的θ进行高阶拟合，采用最小二乘法计算拟合参数，得到如下关系式：

5.由于倾角满足θ＝arccos(A_y/g)，针对MEMS倾角仪输出的A_y与转台对应的θ进行高阶拟合，采用最小二乘法计算拟合参数，得到如下关系式：

6.由于倾角满足θ＝arctan(A_x/A_y)，先计算MEMS倾角仪输出的A_x和A_y的比值A_ε＝A_x/A_y，然后对A_ε与转台对应的θ进行高阶拟合，采用最小二乘法计算拟合参数，得到如下关系式：

7.由三种方法计算出倾角的平均值按照在倾角测量范围的位置给出θ₁、θ₂、θ₃的权重因子α、β、γ，并满足α+β+γ＝1；由此可以得出最终测量所得的倾角θ＝α*θ₁+β*θ₂+γ*θ₃；

8.将上拟合参数固化到参数表中；将MEMS倾角仪安装到转台上给不同的旋转角度，实时按照拟合参数计算θ₁、θ₂、θ₃及相应的权重因子α、β、γ，并对测量的倾角值进行验证。