[发明专利]一种用于废硅片热处理的装置及工艺

权利要求书

1.一种废硅片热处理工艺，包括：

1)称量一定质量的废硅片与还原合金片叠片、压块；硅片与还原合金片的质量比为0.2-2；还原合金片为以铝为主的三元、四元及以上合金，包含高还原性金属和低熔点金属；铝含量为75-90wt％，高还原性金属为5-20wt％，低熔点金属为5-10wt％；高还原性金属为锂、钠、钙、钾的一种或几种，低熔点金属为铋、锡、铟、镓、铅的一种或几种；

2)将步骤1)产物放入热处理装置，固定盖体、抽真空、开通盖体两侧不锈钢冷凝管冷凝水，启动加热器，热处理装置主体加热至500-800℃，搁置1-10h；

3)关闭加热器，将步骤2)热处理装置主体自然降温到250-500℃；然后开通空心圆柱体表面不锈钢冷凝管冷凝水，迅速退火至常温；搁置1-3h；

4)粉碎步骤3)产物，并与低沸点金属盐混合；再放入热处理装置，固定盖体、抽真空、开通盖体两侧不锈钢冷凝管冷凝水，热处理装置主体加热至250-500℃；低沸点金属盐为氯化铝、氯化亚锡和氯化锡的一种，低沸点金属盐为硅片与还原合金片面总质量的0.1-10wt％；

5)关闭加热器，开通空心圆柱体表面不锈钢冷凝管冷凝水，将步骤4)热处理装置主体迅速退火到常温；搁置1-3h；关闭空心圆柱体表面不锈钢冷凝管冷凝水，启动加热器，将热处理装置主体加热至250-500℃；再关闭加热器，开通空心圆柱体表面不锈钢冷凝管冷凝水，将热处理装置主体迅速退火到常温；加热、退火循环反复2-5次；获得硅基制氢材料。