[发明专利]一种单晶硅直拉炉用碳/碳复材表面新型硅基涂层的制备方法

权利要求书

1.一种单晶硅直拉炉用碳/碳复材表面新型硅基涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)准备涂层件；

2)制备PVA溶胶；

3)制备碳粉溶液；

4)制备硅溶胶；

5)刷涂碳粉溶液；

6)涂刷硅溶胶；

7)烘干处理；

8)重复6)和7)2～4次；

9)高温热处理。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅直拉炉用碳/碳复材表面新型硅基涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤1)包括先将碳/碳复合材料用砂纸打磨抛光后用气枪将表面杂质吹扫，并用无水乙醇洗涤干净，干燥备用。

3.根据权利要求1或2所述的一种单晶硅直拉炉用碳/碳复材表面新型硅基涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤2)包括采用固体聚乙烯醇、纯净水，在加热状态下不间断搅拌1～2h，制备成PVA浓度为80％～90％的PVA溶胶备用。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅直拉炉用碳/碳复材表面新型硅基涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤3)包括采用碳粉与纯净水制备碳粉浓度为50％～80％的碳粉溶液备用。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅直拉炉用碳/碳复材表面新型硅基涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤4)包括用30～120目高纯度工业硅粉与制备好的所述PVA溶胶按质量比5～8:1的比例搅拌均匀1～2h，加入1g～50g消泡剂，搅拌混合均匀备用。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅直拉炉用碳/碳复材表面新型硅基涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤5)包括制备好的碳粉溶液用毛刷均匀涂抹在碳/碳复合材料内外侧表面，晾干。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅直拉炉用碳/碳复材表面新型硅基涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤6)包括将所述硅溶胶用毛刷均匀涂抹在晾干后的碳/碳复合材料表面。

8.根据权利要求7所述的一种单晶硅直拉炉用碳/碳复材表面新型硅基涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤7)包括将步骤6)涂刷后的基体烘干，于100℃～200℃下热处理，保温时间30～120min。

9.根据权利要求8所述的一种单晶硅直拉炉用碳/碳复材表面新型硅基涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤9)包括将涂刷烘干后的基体在氩气气氛下，于1500℃～1800℃热处理2h～6h，得到涂有碳化硅基涂层的制品。