[发明专利]一种紫外激光光纤臭氧发生器

权利要求书

1.一种紫外激光光纤臭氧发生器，包括氧气罐（1），其特征在于，氧气罐（1）与臭氧发生器（3）之间连通管道上设有减压阀（2）与流量变送器（10）；臭氧发生器（3）上端的光纤耦合器（4）通过传导光纤（5）连接紫外激光光源（6），下端联通臭氧发生器（3）内的弥散光纤；紫外激光光源（6）一端通过电压调节器（11）连接控制系统（7）；流量变送器（10）连接控制系统（7）；臭氧发生器（3）内部上下方各设有一个弥散光纤固定板（9），光纤固定板（9）内设有气体通道（8），臭氧发生器（3）下方设有出气口。

2.根据权利要求1所述的一种紫外激光光纤臭氧发生器，其特征在于，所述的紫外激光光源（6）经传导光纤（5）传输至光纤耦合器（4），经光纤耦合器（4）改变紫外激光的光斑大小及射入角度后，将光射入由光纤固定板（9）固定的弥散光纤内。

3.根据权利要求1所述的一种紫外激光光纤臭氧发生器，其特征在于，所述的紫外激光光源（6）采用生成臭氧紫外光效率最高185nm紫外激光器（配套冷却系统）作为激发光源，能量密度不小于280 mW/cm²。

4.根据权利要求1所述的一种紫外激光光纤臭氧发生器，其特征在于，所述的氧气罐（1）作为氧气源，采用纯度质量百分比≥90%的氧气或液氧，减压至0.2 MPa。

5.根据权利要求1所述的一种紫外激光光纤臭氧发生器，其特征在于，所述的臭氧发生器（3）内腔为不锈钢、聚四氟乙烯内衬，其密封接触面可采用耐腐蚀能力强的硅橡胶等材料。

6.根据权利要求1所述的一种紫外激光光纤臭氧发生器，其特征在于，所述的控制系统（7）控制紫外灯点亮，并在应用范围内调节其亮度，控制紫外灯正常工作并维持稳定的光照强度，同时控制反应气体的流量稳定。

7.根据权利要求1所述的一种紫外激光光纤臭氧发生器，其特征在于，所述的传导光纤（5）由50根光纤构成，每根光纤约1.3mm。

8.根据权利要求1所述的一种紫外激光光纤臭氧发生器，其特征在于，所述的光纤固定板（9）设有均匀的气体通道（8）的通孔及弥散光纤。