[发明专利]激光束调整机构和激光加工装置

权利要求书

1.一种激光束调整机构，其将从激光振荡器射出的激光束调整为平行光，其中，

该激光束调整机构具有：

光束调整单元，其具有配置在该激光束的光路上的多个透镜；

第1反射镜，其反射通过了该光束调整单元的该激光束而变更该激光束的光路；

第2反射镜，其反射由该第1反射镜变更了光路的该激光束而变更该激光束的光路；

第1照相机，其对通过了该第1反射镜的第1通过光进行拍摄；

第2照相机，其对通过了该第2反射镜的第2通过光进行拍摄；以及

控制单元，

该控制单元包含：

第1计算部，其根据该第1照相机所拍摄的拍摄图像中的比预先设定的亮度亮的区域的像素，计算该第1通过光的第1光束直径；

第2计算部，其根据该第2照相机所拍摄的拍摄图像中的比预先设定的亮度亮的区域的像素，计算该第2通过光的第2光束直径；以及

透镜调整部，其使该光束调整单元的该多个透镜沿与该激光束的光路平行的方向移动，以使该第1计算部所计算出的该第1光束直径和该第2计算部所计算出的该第2光束直径一致。

2.根据权利要求1所述的激光束调整机构，其中，

该透镜调整部使该光束调整单元的该多个透镜沿与该激光束的光路平行的方向移动，以使该第1计算部或该第2计算部所计算出的该第1光束直径或该第2光束直径处于预先设定的规定的范围内。

3.一种激光加工装置，其具有：

卡盘工作台，其对被加工物进行保持；

激光加工单元，其通过照射激光束而对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；

加工进给机构，其将该卡盘工作台相对于该激光加工单元沿X轴方向相对地进行加工进给；

转位进给机构，其将该卡盘工作台相对于该激光加工单元沿与该X轴方向垂直的Y轴方向相对地进行转位进给；以及

通知单元，其实施向作业者的通知，

该激光加工单元具有：

激光振荡器，其振荡出激光；

聚光器，其对从该激光振荡器射出的激光束进行聚光；以及

权利要求2所述的激光束调整机构，其配设于该激光振荡器与该聚光器之间，

当在激光加工中由该第1计算部或该第2计算部计算出的光束直径偏离预先设定的规定的范围的情况下，该通知单元将该情况通知给作业者。