[发明专利]一种全自动撕金机

说明书

本发明公开一种全自动撕金机，包括机架，所述机架内设置有上下两层的可移动料架，可移动料架上设置有用于固定晶圆的真空吸盘，所述机架沿撕金加工方向依次设置有晶圆下料模组、白膜模组、切膜模组、撕金模组、对折模组、喷码模组和称重回收模组。本案提出的全自动撕金机功能丰富，且撕金方式简单。

本案有请优先权(优先权号202021776357.6，优先权日2020-08-24)。

技术领域

本发明涉及晶圆加工设备技术领域，特别涉及一种全自动撕金机。

背景技术

在现有技术中，晶圆剥离金属的工序还是通过人工完成，由于人工手动撕金存在效率低下，因压膜力度不均匀造成的撕金不彻底的问题，同时在手动撕金的过程中，受操作人员水平的限制、晶圆本身特性等因素的影响，极易发生晶圆受到污染、损坏等情况。

申请号为CN201921269895.3的中国专利，提出了一种自动撕金装置，该装置使用真空吸盘进行撕金。

发明内容

本发明的目的在于提供一种全自动撕金机，克服上述缺陷，提供一种撕金方式快捷的全自动撕金机。

为达成上述目的，本发明的解决方案为：一种全自动撕金机，包括机架，所述机架内设置有上下两层的可移动料架，可移动料架上设置有用于固定晶圆的真空吸盘，

所述机架沿撕金加工方向依次设置有晶圆下料模组、白膜模组、切膜模组、撕金模组、对折模组、喷码模组和称重回收模组；

所述白膜模组包括白膜辊和压膜部件，所述白膜辊连接在晶圆下料模组下部的边缘，所述的压膜部件为杆状机构，该压膜部件设置在切膜模组的下部，

所述切膜模组包括切膜架和切刀，所述切膜架为冂字形结构，该切膜架固定连接在机架上，所述切刀移动设置在切膜架上；

所述撕金模组包括撕金滑轨、移动板和拉撕机械手，所述滑轨是两平行设置在机架上的凸起件，所述移动板滑接在撕金滑轨上，在移动板上设有拉撕机械手；

所述对折模组包括移动滑轨、对折机械手、安装板和翻折机械手，所述移动滑轨是两平行设置在机架上的凸起件，所述对折机械手滑设在移动滑轨上，安装板通过数个支撑杆件设置在机架上，所述翻折机械手滑动设置在安装板下部；

所述喷码模组包括喷码器；

所述称重回收模组包括电子秤、落料架和回收箱，所述落料架设置在机架上，所述电子秤设置在落料架顶部的一侧，所述回收箱设置在落料架内部。

优选的，所述晶圆下料模组包括供料盒和下料夹爪，所述的供料盒通过支撑杆设置在机架上，所述的下料夹爪设置在供料盒下。

优选的，所述喷码模组还包括移动架和升降架，所述移动架设置在机架上，且位于落料架上电子秤一侧的外部，所述升降架设置在移动架上，所述喷码器设置在升降架上。

采用上述方案后，本发明的有益效果在于：

1、功能丰富；本发明有快速自动上下料、自动撕金、自动折叠、喷码计数、称重计量、自动回收等功能。

2、撕金方式简单；本发明是通过先贴设白膜，然后再由白膜带走镀金层的撕金办法，撕金方式简单。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明可移动料架的结构示意图；

图3是本发明可移动料架的侧视图；

图4是本发明切膜架的结构示意图；

图5是本发明撕金模组和对折模组的结构示意图；

图6是本发明撕金模组和对折模组的侧视图；