[发明专利]一种紫外飞秒激光器

权利要求书

1.一种紫外飞秒激光器，其特征在于，包括沿激光的出射方向依次设置的基频飞秒激光器、二倍频晶体、偏振控制器、三倍频晶体、第一双折射晶体和第二双折射晶体，所述第二双折射晶体与第一双折射晶体对称放置，所述第一双折射晶体包括第一入射端面、第一出射端面和第二出射端面，所述第一入射端面和第一出射端面平行，所述第二出射端面位于第一出射端面的反射光的出光方向上，所述第一入射端面和第一出射端面均透射三倍频飞秒激光，所述第一出射端面全反射二倍频飞秒激光和基频飞秒激光，所述第二出射端面透射二倍频飞秒激光和基频飞秒激光；从三倍频晶体出射的不同波长的激光以三倍频光的布鲁斯特角经第一入射端面射入第一双折射晶体，所述第一双折射晶体将不同波长的激光分离；所述第二双折射晶体包括第二入射端面和透射端面，所述第二入射端面和透射端面平行，且均透射三倍频飞秒激光，所述第二入射端面位于第一出射端面的透射光的出光方向上。

2.根据权利要求1所述的紫外飞秒激光器，其特征在于，所述紫外飞秒激光器还包括第一挡光块和第二挡光块，所述第一挡光块位于第一入射端面的反射光的出光方向上，所述第二挡光块位于第二出射端面的出光方向上。

3.根据权利要求1所述的紫外飞秒激光器，其特征在于，所述第一双折射晶体和第二双折射晶体为紫外光透明的α-BBO晶体或石英晶体。

4.一种紫外飞秒激光器，其特征在于，包括沿激光的出射方向依次设置的基频飞秒激光器、二倍频晶体、偏振控制器、三倍频晶体、第一双折射晶体和第二双折射晶体，所述第二双折射晶体和第一双折射晶体对称放置，所述第一双折射晶体包括第一入射端面、第一出射端面、第二出射端面、第三出射端面和第四出射端面，所述第一入射端面与第一出射端面平行，所述第二出射端面与第三出射端面平行，所述第一出射端面位于第三出射端面的反射光的出光方向上，所述第二出射端面位于第一入射端面的透射光的出光方向上，所述第四出射端面位于第一出射端面的反射光的出光方向上，所述第一入射端面和第一出射端面均透射三倍频飞秒激光，所述第一出射端面全反射基频飞秒激光和二倍频飞秒激光，所述第二出射端面和第三出射端面均全反射三倍频飞秒激光，所述第四出射端面透射基频飞秒激光和二倍频飞秒激光；从三倍频晶体出射的不同波长的激光以三倍频光的布鲁斯特角经第一入射端面射入第一双折射晶体，所述第一双折射晶体将不同波长的激光分离；所述第二双折射晶体包括第二入射端面和透射端面，所述第二入射端面和透射端面平行，且均透射三倍频飞秒激光，所述第二入射端面位于第一出射端面的透射光的出光方向上。

5.根据权利要求4所述的紫外飞秒激光器，其特征在于，所述紫外飞秒激光器还包括第四挡光块，所述第四挡光块位于第三出射端面的透射光的出光方向上。

6.根据权利要求5所述的紫外飞秒激光器，其特征在于，所述紫外飞秒激光器还包括第一挡光块和第二挡光块，所述第一挡光块位于第一入射端面的反射光的出光方向上，所述第二挡光块位于第二出射端面的出光方向上。

7.根据权利要求5所述的紫外飞秒激光器，其特征在于，所述第一双折射晶体和第二双折射晶体为紫外光透明的α-BBO晶体或石英晶体。

8.一种紫外飞秒激光器，其特征在于，包括沿激光的出射方向依次设置的基频飞秒激光器、二倍频晶体、二倍频光谐波分离器、四倍频晶体、第一双折射晶体和第二双折射晶体，所述第二双折射晶体与第一双折射晶体对称放置，所述第一双折射晶体包括第一入射端面、第一出射端面和第二出射端面，所述第一入射端面和第一出射端面平行，所述第二出射端面位于第一出射端面的反射光的出光方向上，所述第一入射端面和第一出射端面均透射四倍频飞秒激光，所述第一出射端面全反射二倍频飞秒激光，所述第二出射端面透射二倍频飞秒激光；从四倍频晶体出射的不同波长的激光以四倍频光的布鲁斯特角经第一入射端面射入第一双折射晶体，所述第一双折射晶体将不同波长的激光分离；所述第二双折射晶体包括第二入射端面和透射端面，所述第二入射端面和透射端面平行，且均透射四倍频飞秒激光，所述第二入射端面位于第一出射端面的透射光的出光方向上。