[发明专利]液体处理装置以及处理液的温度调整方法

权利要求书

1.一种液体处理装置，其特征在于，

该液体处理装置具有：

基板保持部，其用于保持基板；

喷出喷嘴，其向保持于所述基板保持部的基板喷出处理液；

液体供给管，其将来自处理液的储存源的处理液向所述喷出喷嘴供给；

气体管，其内包所述液体供给管，处理液的温度调整用的非活性气体在该气体管与所述液体供给管之间的空间流通；

处理容器，其在内部设有所述基板保持部、所述喷出喷嘴、所述液体供给管以及气体管；以及

气氛气体供给部，其向所述处理容器内供给气氛气体，

所述气体管在所述处理容器内的上游侧端与内包有所述液体供给管的内包部分之间的部分、即延伸部在该处理容器内以俯视为折返的方式设置。

2.根据权利要求1所述的液体处理装置，其特征在于，

该液体处理装置还具有使所述喷出喷嘴沿俯视下的预定的方向移动的移动机构。

3.根据权利要求2所述的液体处理装置，其特征在于，

所述气体管设为，所述延伸部向所述喷出喷嘴利用所述移动机构进行移动的移动方向折返。

4.根据权利要求2所述的液体处理装置，其特征在于，

所述气体管设为，所述延伸部向与所述喷出喷嘴利用所述移动机构进行移动的移动方向正交的方向折返。

5.根据权利要求2所述的液体处理装置，其特征在于，

所述气体管设为，所述延伸部在所述处理容器内环绕。

6.根据权利要求1所述的液体处理装置，其特征在于，

该液体处理装置具有将所述气体管固定于所述处理容器内的固定器具，

所述固定器具由热传导率比所述气体管的热传导率高的金属材料形成。

7.根据权利要求1所述的液体处理装置，其特征在于，

所述气体管的外周形成为波纹管形状。

8.根据权利要求1所述的液体处理装置，其特征在于，

在所述处理容器内具有连接导入管与所述气体管的接头，该导入管将来自非活性气体的储存源的非活性气体向所述处理容器内导入，

所述接头由热传导率比所述气体管的热传导率高的金属材料形成。

9.根据权利要求1所述的液体处理装置，其特征在于，

所述气体管的外径比将来自所述非活性气体的储存源的非活性气体向所述处理容器内导入的导入管的外径大。

10.一种处理液的温度调整方法，其是液体处理装置的处理液的温度调整方法，其特征在于，

所述液体处理装置具有：

基板保持部，其用于保持基板；

喷出喷嘴，其向保持于所述基板保持部的基板喷出处理液；

液体供给管，其将来自处理液的储存源的处理液向所述喷出喷嘴供给；

气体管，其内包所述液体供给管，处理液的温度调整用的非活性气体在该气体管与所述液体供给管之间的空间流通；

处理容器，其在内部设有所述基板保持部、所述喷出喷嘴、所述液体供给管以及气体管；以及

气氛气体供给部，其向所述处理容器内供给气氛气体，

所述气体管在所述处理容器内的上游侧端与内包有所述液体供给管的内包部分之间的部分、即延伸部在该处理容器内以俯视为折返的方式设置，

该温度调整方法具有如下工序：

利用来自所述气氛气体供给部的气氛气体调整在所述气体管内流通的非活性气体的温度；以及

利用被调整了温度的非活性气体调整在所述液体供给管内流通的处理液的温度。