[发明专利]一种基于化学腐蚀法的无芯光纤迈克尔逊结构制备方法在审
| 申请号： | 202011409660.7 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112729571A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 祝连庆;郝思源;张雯;娄小平;董明利;何巍;李红 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02;G01M11/02;G02B6/25 |
| 代理公司： | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 | 代理人： | 王琦;庞立岩 |
| 地址： | 100085 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 化学 腐蚀 光纤 迈克 结构 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于化学腐蚀法的无芯光纤迈克尔逊结构制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
(1)去除无芯光纤尾端涂覆层，使用酒精擦拭；
(2)将擦拭后的无芯光纤固定在支架后，将去除涂覆层一端插入到氢氟酸溶液中进行腐蚀处理；
(3)将腐蚀处理后的光纤放入超声清洗机中清洗，去除残留酸；
(4)将清洗后的无芯光纤的腐蚀端镀银膜。
2.根据权利要求1所述的迈克尔逊结构制备方法，其特征在于，所述氢氟酸溶液的浓度为30％-50％。
3.根据权利要求1所述的迈克尔逊结构制备方法，其特征在于，所述腐蚀处理的时间为15-25min。
4.根据权利要求1所述的迈克尔逊结构制备方法，其特征在于，所述腐蚀处理还包括对腐蚀程度的控制，包括以下过程：取10根相同规格无芯光纤，去除尾端涂覆层后插入氢氟酸溶液中，每腐蚀10min取出1根无芯光纤，经清洗去除残留酸后在显微镜下测量，使用光谱仪测定其光谱，绘制无芯光纤直径随腐蚀处理时间变化关系曲线，根据测定光谱选择腐蚀处理时间。
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